MEMS传感器国内外研究现状
时间:2018-03-09 21:07 来源:毕业论文 作者:毕业论文 点击:次
| MEMS传感器一般是由硅基材料和利用半导体集成电路制造工艺制造而成的集微机械、微电子功能高度综合的传感器系统[4]。目前研制的MEMS传感器主要包括微机电压力传感器、微机电加速度计及微机电陀螺仪等[4]。由于其在各方面的突出特点，MEMS传感器多被应用于军事领域和抗干扰环境要求高的场合。19478 硅微加速度传感器是继微机电压力传感器之后进入市场的MEMS传感器[4]。其主要类型有压阻式、电容式、力平衡式和谐振式等，其中MEMS电容式微加速度计又具有检测精度高，受温度影响小等优点，成为MEMS加速度计研究领域的重点对象[4]。本系统主要针对电容式MEMS加速度传感器进行批量测试，而具体的测试对象包括MSA6000系列和MS9000系列微加速度计。 MSA6000系列微加速度计是中国电子科技集团公司第十三研究所推出的高精度电容式MEMS加速度传感器。其采用单片式电容检测电路，采取5V单电源供电，模拟电压输出，并可实现传感器自检测功能，具有体积小，精度高等优点。其中MSA6000-10量程为±10g，零位稳定性小于0.5mg，经计算可得，为不损失传感器精度，采集系统有效分辨率需大于15位。 MS9000系列传感器是Colibrys公司推出的电容式MEMS加速度传感器。它由一块微机械加工的硅元件，一个低功耗ASIC专用信号处理器，一个用于存储补偿值的微控制器，和一个温度传感器组成。其中，MS9010的测量范围为±10g，零位稳定性小于0.25mg，经过计算可知，为不损失传感器精度，采集系统有效分辨率需大于16bit。 (责任编辑：qin) |