三维有序多孔硅/金属氧化物复合薄膜的制备与表征
时间:2018-03-28 10:23 来源:毕业论文 作者:毕业论文 点击:次
| 摘要本文采用胶晶球模板法来制备三文有序大孔Fe2O3薄膜骨架，并使用XRD、SEM、TEM等方法对其进行表征。由XRD结果可知我们制备的铁的氧化物为Fe2O3;由SEM、TEM结果表明制备的Fe2O3具有三文有序结构，整个骨架呈现蜂窝状，排列整齐，厚度均一。然后我们设法将其装填到Si-MCP微通道中，其中Si-MCP采用光助电化学蚀刻法制备。结果表明浓度为100%的PS球溶液填充最饱满，效果最好。前驱液浸泡，煅烧后得到三文有序大孔Fe2O3骨架，骨架与微通道之间有一定的空隙，并没有充满整个微通道空间，收缩率为20%左右。 关键词：胶晶模板法；光助电化学刻蚀；Si-MCP；3DOM Fe2O3; 毕业设计说明书（论文）外文摘要 Abstract This paper used the polystyrene colloidal crystal ball template method to fabricated three-dimensional ordered macroporous Fe2O3 membrane skeleton，and used of XRD, SEM, TEM and other methods to characterized them.The XRD results show that we obtain the Fe2O3 successfully;And the SEM, TEM resulted demonstrate that the prepared Fe2O3 had a three-dimensional ordered structure.The skeleton was a honeycomb, neat, uniform thickness.Then we try to load it into the Silicon Microchannel plates(Si-MCP). The Si-MCP was preparaed by photoelectrochemical (PEC) process. It can be acquired that the optimum diluted concentration of PS is 100% of mother solution which made the MCP be full of the PS ball. After adding the precursor solution and calcination, we obtained the three dimensionally ordered macroporous Fe2O3 skeleton. According to SEM images，there was a certain gap between the skeleton and the MCP. And the skeleton don't fill the micro channel space completely.The shrinkage ratio is about 20%. Keywords: colloidal crystal templat; 3DOMFe2O3; photoelectrochemical; Si-MCP 目 录 1. 绪论 1 1.1 研究背景 1 1.2三文有序多孔金属氧化物的研究现状 2 1.3 国内外制备多孔硅的研究现状 4 1.4 本文研究的主要内容 6 2. 3DOMFe2O3骨架的制备 8 2.1 胶晶模板的制备 8 2.1.1 PS胶晶球的制备 8 2.1.1.1 实验材料及仪器 9 2.1.1.2 实验过程及结果 9 2.1.2 PS胶晶球模板的组装 10 2.2 Fe前驱液的配制及浸泡 11 2.3 煅烧 11 2.4 3DOMFe2O3骨架的表征 12 2.4.1 XRD分析 12 2.4.2 SEM分析 13 2.4.3 TEM分析 14 2.5 小结 14 3. Si-MCP的制备 16 3.1光助电化学刻蚀法 16 3.1.1 实验 17 3.1.1.1 实验材料及仪器 17 3.1.1.2 实验过程 18 3.1.1.3 实验结果 19 3.2 小结 20 4. 3DOMFe2O3在Si-MCP微通道中的装填 21 4.1 PS球在Si-MCP微通道中的装填 21 4.2 Si-MCP微通道中Fe2O3三文有序骨架的制备 22 4.3结果及表征 22 4.4小结 24 总结 25 致谢 26 参考文献 27 1. 绪论 1.1 研究背景 自从上世纪九十年代末，三文有序大孔（3-dimensionally ordered macroporous， 3DOM）材料首次使用胶晶模板法成功制备以来，因其具有一系列较好的特性，如：比一般大孔材料大的孔径均匀的孔道、孔道三文有序，孔壁由纳米粒子组成等，3DOM材料在催化剂及载体、大分子吸附分离、光子晶体、轻质及结构材料、电极材料、纳米材料组装、生物化学、隔热隔音材料及光学器件等多个领域得到广泛的关注。[1,2] (责任编辑：qin) |