MEMS流体惯性开关的研究现状
时间:2018-04-08 23:22 来源:毕业论文 作者:毕业论文 点击:次
| 受制于传统微机械开关的种种缺点，迫切需要一种能克服传统机械开关缺点的新型开关。在参考了宏观水银开关的设计思路后，美国加州大学的Kim等研制出一种微型的电热驱动的移动水银开关，利用去离子水所产生的气泡来驱动水银液滴，实现开关的接通与断开[ ]。在控制开关内水银体积精度上，有文献提出了一种较精确的控制方法,并安全可靠地解决了水银获取与存放的难题[ ]。论文网 Kim等根据上述开关研制了一种静电驱动的金属液滴惯性开关，用金属液滴作为开关的接触和运动部件，通过增加外部电场，对金属液滴施加电场力作为液滴运动的驱动源来实现开关的通断[ ]。 基于Kim的理论，Andrew Cao等人设计出了一种电热-电磁双向驱动微型开关[ ],在电热和电磁的双重作用下来实现开关的功能，电热作用会使继电器中的机械梁受热弯曲，而电磁作用下产生的电磁力能控制机械梁的弯曲方向。该开关的具有较高的可靠性，而且在导通时能够承受较大的电流，避免接触点焊的问题。20754 国内研究现状 MEMS技术虽然在国内起步较晚，但是发展速度并不慢。特别在流体惯性开关这方面国内紧跟国际步伐，对流体惯性开关的研究主要集中于几家院校和研究所。中电科技集团13所在国内做流体惯性开关比较早，在2001年就提出了利用水银液滴做加速度敏感元件,当整个开关处于特定加速度状态时，惯性力便驱动水银液滴接通电极，使开关具有阈值特性，但是在开关阈值的调整上没有深入的研究。 西安电子科技大学也开展了惯性微流体导电开关的研究，探讨了水银液滴在微通道阀门处的静态平衡,将表面张力学问题转化过渡为薄膜力学问题,并利用无矩理论得到了水银液滴的体积和开关的粗细管尺寸[ ]。 (责任编辑：qin) |