由曲面面形测量国内外研究现状
时间:2018-04-17 22:31 来源:毕业论文 作者:毕业论文 点击:次
| 国外对于光学自由曲面面形的测量在较早的时期就已经得到了重视。德国斯图加特大学的Jan Liesener和Wolfgang Osten教授团队一直对光学自由曲面面形测量方法进行研究，并提出了多重倾斜干涉检测技术。他们在多重波面倾斜的试验中率先指出，需要分别对参考光和测试光进行研究。在面对测量中出现的相位差异，他们引入了零位补偿器件，以便在测量光学自由曲面的面形是能够更广泛的适用于那些面形复杂的元件。运用图像拼接技术，将干涉图信息进行整合，得到完整口径元件的信息。相比于干涉测量方法，多重倾斜波面干涉技术拥有众多优越性与先进性：21363 (1)在测试中，使用的是子孔径测试阵列，与传统子孔径方法相比，在产生不同倾斜补偿角度的测试光束的方法上具有较大差异。该方法使用的是微透镜阵列，是平行光束被分割，而传统方法中是机械位移的方式。这一差异使得系统中机械器件的使用数量减少，检测精度提高，误差降低； (2)传统的子孔径拼接技术是对带侧面进行重复、逐个扫描，工作量大，测试时间长。多个子光束对带侧面进行测量在同一时间进行，速度更快，成本更低； (3)倾斜补偿角度与微透镜阵列参数相关，可以补偿测量较大曲率变化的光学面形；论文网 (4)不引入零位补偿器件，便于实现复杂光学曲面的通用化检测。 故而，利用多重倾斜波面干涉检测技术来检测光学自由曲面的面形时，相比于传统方法有着更加广阔的发展前景，更为出色的优势 。 国内方面，目前南京理工大学的沈华老师等在“黑匣子”的原理基础上，对自由曲面面形测量进行研究。对国外研究情况进行分析后，他提出了球面补偿标准镜组的基本结构。这一结构式建立在逆向追迹方法的基础上的，并对干涉容限前提下建立了基础的结构参数的设计方法以及算法流程。他针对非零位干涉系统存在较大回程误差以及干涉场相位与被测面形不成熟的问题，提出了虚实波面求差法和回城误差逆向相消法相结合的光学自由曲面面形的重构方法。他解决了通过采集的阵列干涉图如何提高精度反演被测面形的问题。 本文在沈华老师研究基础上，对倾斜波面非零位干涉系统的不同点源的系统误差进行标定，得到该干涉系统的系统误差，以提高该方法对光学自由曲面面形测量结果的准确度。 (责任编辑：qin) |