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原理图：泰曼干涉仪的原理图文献综述

1。3  本论文研究的目的和主要工作

本论文首先介绍了斐索干涉仪的基本原理，然后简单介绍了FRED软件，最后详细介绍了FRED软件对斐索干涉仪中各个管元件的建模过程以及初步模拟结果，并分析、讨论了模拟分析法的优势与局限性。

2  作为测试仪器的相移干涉仪

干涉仪可以有多种光路结构形式，但是在多年的发展之后，作为计量测试产品的相移干涉仪，已经有了一个平衡各种需求，基本成熟的设计思路，各个厂商的产品结构大同小异。本章将介绍这个基本结构，以及数字化的相移干涉基本原理。

2。1  斐索干涉仪的结构和原理

斐索干涉仪的截面照片及内部光路图如下：

一种斐索干涉仪的截面照片

如上图所示，菲索干涉仪的内部光路结构以立方棱镜为中心，基本上可以分为四个部分：光源与扩束部分、准直与测试部分、粗调对点部分以及CCD成像部分

1）光源与扩束部分：

这部分主要包括激光器，扩束镜，反射镜，立方棱镜。其中激光器一般选用氦氖激光器或半导体激光器，激光器发射出的光线近似视为平行光，扩束镜是一个汇聚透镜，可以使激光发出的光线扩成发散光束，反射镜起到改变光路作用，这样可以减小干涉仪所占空间，而立方棱镜主要起到分光作用。

2）准直与测试部分：来-自+优Y尔E论L文W网www.youerw.com 加QQ752018^766

准直与测试部分包括准直物镜，参考镜和被测镜。准物直镜可以把经过扩束后的发散光线再次汇聚成平行光，这样光线经过参考面和被侧面才能形成稳定的等厚干涉条纹。参考镜是一块相对于被测面质量高得多的标准镜面，由不平整的被测面的反射的光波与标准镜反射光波向干涉，将会形成等厚干涉条纹。

3）粗调与对点部分

这部分包括分光镜，十字准心镜，准直镜和CCD。

在观察干涉条纹之前，首先应该进行粗调与对点，十字准心镜的中心有一个小十字，用于汇聚光点的对点，准直镜把从被测面和参考面反射回来的光线汇聚成平行光以便于观察，CCD用于对点的成像。

4）CCD成像部分：

这部分包括准直物镜和CCD，在粗调与对点完成后即可进行干涉图像的观察，准直物镜的作用与3）中作用相同都是为了方便观察，CCD用于干涉图的成像。