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椭圆偏振术目前已经有超过100年历程。1887年，德鲁德(P。Drude)首次提出椭偏理论[13]。并且在1901年，他出版一本了书，详细介绍第一台椭偏仪器。1945年，Rothen正式命名“椭圆偏振测量术(Ellipsometry)”一词[14]。二十世纪六十年代，自消光椭偏仪出现，一种由马达驱动，另一种按照电光效应制造。椭偏法操作起来简单，但是数据处理很麻烦，它是测量过程中关键的一步。椭偏方程是一个超越方程，涉及大量的三角函数计算，人工根本不可能实现，所以刚开始椭偏法的发展缓慢。直到计算机技术的发展，运算能力得到提高之后，椭偏术才迎来新的快速发展。1975年，美在国贝尔实验室，Aspnes[15]  造出可变波长的椭偏光谱仪。把椭偏测量拓展到光谱范围，测量了不同波长下晶体的光学参数。之前的测量都是单一波长的，这实现了动态椭 偏光谱测量。之后的研究方向朝着三个方向发展，一是增大测量波长范围。例如R。 W。 Stobie实现红外范围的测量[16]。二是实现测量速度提升，减小一次测量时间，对动态薄膜生长过程进行测量，如UVISEL超快光谱椭偏仪，德国SE500仪器测量时间最快仅需120ms。三是复杂薄膜模型的测定，例如多层膜。后来由于CCD技术不断进步，很多研究人员把它应用到椭偏测量上，作为接收器使用，能够获取更多的信息，便于实验分析。1993年, 在法国巴黎，举办了第一届国际SE(Spectroscopic Ellipsometry)大会[17]，是椭偏研究的一个重要标志。后来1997年在美国南卡罗来纳州[18]和2003年在奥地利维也纳举办了两届国际椭偏大会。87545

我国的椭偏研究从上世纪70年代开始，应知名物理学家黄昆院士的要求，莫党教授进行研究。过了几年，莫党教授等研制出中国首台TP-75型单波长消光式椭偏仪[19]，接着又成功制造了TP-77型。80年初，莫党教授等发明了TPP-1型[20]波长扫描光度法椭偏仪，光谱区域260 -860nm。1987年实现采用He-Ne激光器的自动椭偏仪[21]。1989年研制出自动化椭圆光谱仪[22]。1993年，复旦大学的陈良尧教授[23]团队研制的新型全自 动化椭偏光谱仪，该仪器入射角度可调，波长可变，起偏器和检偏器能转动。2000年，中国科学院力学所，靳刚制造椭偏光显微成像仪[24]。在治疗疾病、试验新药品等方面有很大帮助，例如研究心脑血管疾病、艾滋病、肝炎、流感等疾病。这些疾病需要分子层面超高的分辨能力，这样才能研究药物在机体中的作用效果。论文网

目前的椭圆偏振光谱仪有反射式、透射式、散射式三种。反射椭圆偏振光谱仪，利用光在薄膜上下表面反射造成偏振态的变化研究薄膜参数，主要测量不同形态材料的光学性质和电光效应、磁光效应等物理效应；检测薄膜的生长过程。透射椭圆光谱仪，检测光透过各向异性材料的变化，研究物质的分子结构，测量材料旋光性、二向色性、线性二向色性、椭圆二向色性、线性双折射、椭圆双折射、法拉第效应、克尔效应等。散射椭圆光谱仪，在工业上测量胶体和气体悬浮物的密度及颗粒大小，在气象上研究云、雨、雾的变化，预报天气，天文上研究大气、行星和宇宙尘埃。所以当椭偏测量技术越来越成熟，测量设备更加先进、算法不断优化改进、数据处理的速度提高，这些都使椭偏术向着多功能、多领域方向发展。