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表3。3物镜初试结构数据

查看初始物镜系统数据如表3。4所示。

表3。4系统初始数据

3。2。2初始结构像质分析

初始结构的结构光路如图3。1所示。

图3。1结构光路图文献综述

在ZEMAX中点列图(SpotDiagram)与光扇图(RayFan)是两种分析系统像质的重要手段。通过观察点列图(SpotDiagram)可以了解系统是否有明显像散或彗差特征，几种色斑的分开程度如何等[4]。点列图下方给出了两个重要的参数：RMSRADIUS和GEORADIUS，分别是均方根半径值和几何半径。其中几何半径（GEORADIUS）越小代表成像质量越好。光扇图(RayFan)，又叫光程差图，代表的是系统的综合误差。光学系统的入瞳标量用横坐标表示，主光线在像面上的位置的相对数值用纵坐标表示。在图中各个视场由子午垂轴像差曲线和弧矢垂轴像差曲线描绘像差的情况。光扇图下方的数据为纵坐标的最大光程差的最大值。

点列图如图3。2所示。

图3。2点列图

通过观察图3。2所示的初始结构点列图可知，各个视场的弥散斑大小均接近甚至超过了20μm，这个大小已经很大了，应该有针对性地对此有所改善。