毕业设计说明书中文摘要 白光干涉技术是目前光学领域一种重要且极具代表性的测量技术，随着光学的发展，白光干涉技术的应用越来越广泛，在膜厚测量、物理表面形貌测量等领域均体现出不损坏被测量物、效率高、精度高等优点。白光干涉图的对称性判断对于整个测量结果的有效性而言具有至关重要的意义。81416
本文详细阐述白光干涉的原理，分析干涉图非对称性的产生原因，利用循环计算法和最小二乘拟合法进行干涉图灰度值曲线峰值提取；通过作差法和相关计算法判断灰度图对称性，用零光程差位置偏移量和RGB通道灰度值曲线对称性判断彩色图的对称性。对仿真图和实际干涉图均进行分析，对比说明每种方法的优缺点。得到实际图中灰度图判断误差为1。64%，彩色图误差9。52%，判断对称性良好。
毕业论文关键词 白光干涉图 非对称性 峰值提取 灰度值
毕业设计说明书外文摘要
Title Asymmetry Analysis and Processing of White light interference fringes
Abstract White light interferometry is an important and highly representative measurement technology of optical field, with the development of optical, white light interference technology is widely used in many research areas, such as film thickness measurement、the physical surface topography measurements, in where reflected many advantages:no damaging to the object to be measured、high efficiency、high precision and so on。 The symmetry judgment of white light interference pattern is of vital importance for the purposes of the validity of the measurement results。
This paper describes the principle of white light interferometry, analysis the causes of the asymmetry of interference pattern, using cyclic calculation method and the least square fitting method for interferogram gradation curve peak value extraction；by making the difference and correlation calculation method to determine the symmetry of grayscale; using the difference of zero optical path position and RGB channel offset value curve gradation symmetry for judging symmetry of color chart。 Giving the advantages and disadvantages of each method。 Get the actual figure’s determined grayscale error is 1。64%, error of the color image is 9。52%。
Keywords White light interference pattern asymmetric
peak extraction grayscale value
目录
1 绪论 1
1。1 研究背景及意义 1
1。1。1 研究背景 1
1。1。2 研究意义 1
1。2 白光干涉图处理方法的现状 2
1。2。1 白光干涉图描述 2
1。2。2 重心法 2
1。2。3 移相算法 3
1。2。4 包络曲线拟合法 3
1。3 主要研究内容 3
2、工作原理和设计思路 5
2。1白光干涉原理 5
2。2 白光干涉干涉图非对称性描述方法 6
2。2。1 白光干涉图灰度图非对称性描述思路 白光干涉条纹非对称性的分析与处理:http://www.youerw.com/tongxin/lunwen_95135.html