2。2 移相干涉术的基本原理

本章介绍移相干涉术的基本原理，传统的干涉仪是通过观察干涉仪中的两束相干光之间干涉条纹对被测面型进行检测，移相干涉技术是在两束相干光的光程差中引入一段位移，当两束光的光程差(或位相差)发生变化时，那么干涉仪测量出来的干涉条纹位置也跟着光程差的改变作相应的移动[17]。在采集干涉图案的过程中，一般使用光电探测器（PD）采集多幅实验干涉图样，它们呈网络阵列排布，数字化干涉图光强，将它们存入帧存储器，为了进一步得到波面的相位分布，需要借助计算机，按照一定的数学模型进行分析计算，在此过程中，还能得到波面的凹凸性。

在移相干涉技术中，移相器是最关键的部分[18]。传统的移相干涉术使用的移相器一般都是由压电陶瓷堆PZT来构成，给压电陶瓷PZT接上外接电源后，它的伸长量就会由于电压的作用发生改变，由于压电陶瓷的这一属性，可以改变参考光与测试光之间的相位差，达到移相干涉的目的[19]。来;自]优Y尔E论L文W网www.youerw.com +QQ752018766-

在传统的双光路干涉中，比如图2。1所示的就是一款泰曼型的干涉仪，在它的参考镜面上装上压电陶瓷PZT，给PZT加上一个外加电压驱动参考镜的波面相位改变，是参考镜的波面产生量级的光程变化，这样就可以由光电探测器采集到变化的移相干涉图，实现了移相干涉[20]。

图2。1   装有PZT驱动器的泰曼移相干涉仪

由波动光学理论，可以将干涉系统中的参考光和测试光表示为式（2。1）和（2。2）：

在式（2。1）和（2。2）中，a和b分别是两束光的振幅，s为两束光起始光程，这部分光程为两束光共有，为压电陶瓷PZT给参考镜附加的光程，为被测波面和参考波面由于面型的差别，而引入的光程差分布。假如使用标准平面作为干涉仪的参考平面，那么光程差分布函数也就是检测波面的面形函数，它和被检波面的相位分布仅仅是一个常数的区别。这两束光干涉后，干涉光强的公式为：