1。2。1蠕变的现象及机理 3

1。2。2 蠕变的影响因素 6

1。3纳米压痕技术 6

1。3。1纳米压痕的测定原理 7

1。3。2纳米压痕对薄膜室温蠕变的研究状况 8

1。4本论文的选题意义 8

第二章薄膜的制备与表征方法 10

2。1 薄膜的制备方法 10

2。1。1 薄膜的制备方法 10

2。1。2 影响薄膜制备的主要因素 11

2。2 薄膜性能检测方法与设备 11

第三章 WMoN复合薄膜蠕变性能研究 14

3。1 WMoN复合薄膜的制备 14

3。2 WMoN复合薄膜的表征 14

3。2。1 薄膜Mo成分的测定 14

3。2。2 WMoN复合薄膜的结构分析 15

3。2。3 薄膜晶粒尺寸与晶格常数确定 16

3。2。4 薄膜硬度的测定与分析 17

3。2。5 蠕变实验的选材 18

3。3 WMoN复合薄膜蠕变实验 19

3。3。1 WMoN复合薄膜加载过程 19

3。3。2 WMoN复合薄膜加载与压痕关系 19

3。3。3 WMoN复合薄膜饱载时间与蠕变关系 21

3。3。4 WMoN复合薄膜蠕变速率 23

3。3。5 WMoN复合薄膜不同饱载下的蠕变硬度 27

第四章总结 28

致谢 29

参考文献 30

第一章 绪论

1。1薄膜的概述

1。1。1薄膜的定义

薄膜的研究和发展在现代社会中所承担的角色越来越重要，将薄膜的研究成果转化成生产力并投入市场速度也越来越快，在薄膜领域尤其是复合薄膜领域的研究与生产的联系也变得越来越紧密。薄膜的研究和发展的同时也为电子光学和磁电子学等新兴学科的发展提供了科学材料基础知识，满足现代化生产需求的同时推动了其他产业的发展。

薄膜可定义：通过物理的、化学的、或者其他方法，在金属或陶瓷或基底表面形成一层具有一定厚度的，结构或成分不同于基体材料的且具有一定强度和韧性，并能很好保护基体材料的特殊覆盖成 [1-2]。薄膜从三维空间角度定义为：当固态物体的某一维线性尺度远小于其本身其他两个方向尺度时，这样的固态物质也被称为薄膜[3]。随着社会的进步，薄膜的存在方式也逐渐多样化，有非晶态的和单晶态的甚至还有多晶态的单质元素或化合物。现如今可以有很多种方式制备出薄膜，包括气相生成法、液相生成法、电度法、扩散法和氧化生成法等。

薄膜的分类也是多种多样的[4]：按薄膜的来源分，可分为天然膜和合成膜；按薄膜的使用途径分，可分为减磨耐磨膜、装饰膜、导电薄膜、磁性薄膜等；按薄膜的力学属性分，可分为脆性薄膜或韧性薄膜；按薄膜的几何形状和存在方式，可分为自由薄膜、部分约束薄膜、完全约束薄膜，如图1-1所示