HCONH2→ NH3↑+CO↑；HCONH2→HCN+H2O。

然后工件表面会吸收来自NH3、CO及HCN进一步分解产生的活性C、N原子：

2NH3→3H2+2[N]；2CO→CO2↑+[C]；2HCN→H2↑+2[C]+2[N]。

这介质的分解不是靠辉光放电过程[12,13]，而是靠弧光放电的电离过程。对于CO(NH2)2 而言，阳极: 

(NH2)2CO+H2O→N2↑+CO2↑+6H++3e-

生成的N2很稳定，很难受热分解，不能提供反应所需的活性原子。所以阳极供应不了活性原子。

阴极：(NH2)2CO +2H2O +2e- →2NH3↑+2H2↑+CO2↑；2NH3→3H2↑+2[N]。

NH3在阴极的表面析出,电压增大到某一值的时候NH3被击穿，于是可以产生活性N原子，为渗透提供了条件。在此过程中阴极为工件。

1。3。2  弧光放电过程

对液相等离子体电解渗透过程进行分析，把弧光放电过程分成3个阶段[14]。图1。1是液相等离子体电解渗透电流一电压关系模型。

图1。1   液相等离子体电解渗透电流一电压关系模型

第一个阶段基本符合欧姆定律，随着电压的增大此时电流也逐渐增大。电流的热效应导致的温度上升使得电极附近的电解液气化，部分在电极周围的电解液在电极的作用下会发生电解，电极的表面积聚了来自电解产生的气体和气化的气体，于是大量的气泡在试样的表面形成，一个气液共存的低密度区域就这样在电极周围产生了[15]，进而一层绝缘气膜在电极和电解液之间产生，这个阶段的电压在0V～150V之间。

第二阶段不符合欧姆定律，此时电压接着升高时，电流会快速增加。这个时候液体和气体都可以发生导电。就液体部分来分析：电场会随着电压的加大而变强，离子运动变快并且液体温度也连续增加，导致液体的电导率变大；对于气体部分来分析：由于在电极间电场与热电离的作用使得气体分子发生电离。二次电子的产生是气体分子被电离所导致的，二次电子能导致气体分子发生电离，使得电子流出现了急剧增大[16]。在这个过程中通常伴随着气体发光，这个现象称为气体击穿。发光时击穿的电压称为临界击穿电压，大小通常为150V~200V。

第三阶段，击穿之后慢慢稳定下来，由于强电场的影响，在液相下会形成辉光放电等离子体并且产生电火花，这是种放电现象。这时候虽然电流在急剧减小但是样品依然不断放热。而且形成了大量等离子体。此时导电仍然会发生。气体被击穿之后产生了一个稳定的等离子区域，使电极和电解液分开形成气液隔离层，使得电流变小。就算电压再次提高，电流受到的影响也很小，只会稍许地增加，增加电压只能维持温度，这个维持温度的电压称为工作电压，大小在200V～300V之间。文献综述

1。3。3  等离子体电解渗透装置

图1。2是本次电解渗透装置示意图[17]。电源系统、电解槽和冷却系统构成了这个装置。装置的核心部件是电源系统，是由华泰电源公司研发生产的，可实现直流稳压和脉冲混合，最大电压为600V，最大限流为50A。此装置中石墨电极是阳极材料，阴极是待处理的铝合金试样，根据实验需要自行设计了导电的夹头。导线和夹头直接连接然后用导电夹头把阴极工件夹持起来，导电溶液中含有电解质，因此可以与其形成回路。渗透过程中，由于电压会增加，从而导致系统温度会增加，所以需使用冷却系统来避免电解液温度过高沸腾