摘要本文主要对光驱动PLZT陶瓷的微位移伺服控制进行研究。首先介绍PLZT陶瓷光致伸缩的原理，接着利用PLZT陶瓷在多物理场耦合下的数学模型推导伺服系统的控制方程，通过静态实验对光照与光停阶段PLZT陶瓷光致形变函数的参数进行识别；然后搭建光驱动PLZT陶瓷微位移闭环伺服控制实验平台，重点阐述了光快门控制器部分，并基于ON-OFF控制策略，在不同光照强度下对PLZT陶瓷的输出位移进行闭环伺服控制实验研究。实验结果表明，通过对紫外光源施加ON-OFF控制，能够实现对PLZT陶瓷输出位移的闭环伺服控制。PLZT陶瓷输出位移曲线在进入伺服控制阶段时出现不同程度的超调量；随后，输出位移曲线围绕目标值进行上下波动；而且它的超调量和波动幅度随着光照强度的增大而增加。87568

毕业论文关键词  PLZT陶瓷；伺服控制；光驱动；微位移

毕业设计说明书外文摘要

Title   Micro displacement servo design and control of optical driven     

Abstract The primary purpose of this article is to research the micro displacement closed-loop servo control of optical driven PLZT ceramic。 Firstly，the principle of PLZT ceramic is introduced。 The control equation of servo system is derived based on the mathematical model of PLZT with coupled multi-physics fields。 It focuses on the part of the optical shutter controller。 Parameters of photodeformation of PLZT ceramic during the illumination phase and light off phase are identified through the static experiment。 After that，the closed-loop servo control experiment of optical driven PLZT ceramic based on on-off control strategy under different intensities is carried out。 The experimental results show that the optical driven servo system with simple on-off method can achieve the target displacement by applying UV light to PLZT actuator。 The output displacement of PLZT ceramic actuator fluctuates around the target value，and the fluctuation height increases with the increasing light intensity。 It is also found that some different degrees of overshoot were presented after the output displacement of PLZT ceramic actuator reach to the target value。 

Keywords  PLZT ceramic；servo control；optical driven; micro displacement

目   次

1  绪论 1源-于,优~尔^论=文.网www.youerw.com 原文+QQ7520~18766

1。1  课题背景 1

1。2  课题研究目的及意义 1

1。3  国内外研究现状 1

2  PLZT陶瓷的光致伸缩特性 5

2。1  PLZT陶瓷的基本组成及物理性能 5

2。2  PLZT陶瓷的光致伸缩基本原理 6

2。3  PZLT陶瓷光致特性静态实验 8

3  光驱动PLZT陶瓷的微形变伺服控制数学模型 13

3。1  光驱动PLZT陶瓷的微位移闭环伺服控制原理 13

3。2  光驱动PLZT陶瓷的微位移闭环伺服控制数学模型 13

4  光驱动PLZT陶瓷的微位移闭环伺服控制实验 19

4。1  微位移闭环伺服控制实验平台 19

4。2  基于C8051F410芯片的光快门控制器 19

4。3  光驱动PLZT陶瓷的微位移闭环伺服控制实验基本方法 23