摘要微电子机械系统（MEMS）的不断发展，对于引信的微小型化以及智能化发展有非常重要的意义。以前期的惯性开关为基础，设计了一种能实现环境识别功能的微型惯性开关的碰撞阻尼机构。首先，通过分析微型惯性开关的工作环境及性能需求，提出机构应满足的基本设计要求，包括结构小型化要求、识别勤务环境、发射环境和抗高过载性能等；其次，根据这些要求，结合微电子机械系统的特点，对机构的工作原理和理论模型进行了研究和分析，提出了采用平面微曲折槽结构来识别环境，并着重分析了平面微曲折槽的受力过程、运动过程以及平面曲折槽的关键结构参数对开关识别性能的影响。最后，利用ANSYS/workbench仿真软件对所设计的机构进行了仿真验证并优化，最终由仿真结果得到了设计的机构能满足环境识别性能的需求的结论。76669

毕业论文关键词  微电子机械系统  惯性开关  环境识别  微曲折槽  阻尼  仿真

毕业设计说明书外文摘要

Title  The structure design and simulation analysis of MEMS-based impact damping inertial switch

Abstract The continuous progress of MEMS technology provides great technical support for the development of miniaturization and intelligence of fuze。 This subject mainly researches on the MEMS-based impact damping mechanism used in pre-inertial switch。 The mechanism can distinguish the fuze working environment。 First of all, the switch working environment and property requirement have been analyzed。 Also the paper summarizes the basic design requirements of the mechanism, which are the miniaturization requirement, distinguishing the fuze service dropping environment from the normal emission environment and the endurance to high overloads, etc。 Secondly, according to the basic design requirements of the switch and MEMS technical characteristics, the electrical connection switch is researched through the principle and theoretical model。 The planar micro-zigzag groove structure is analyzed by distinguishing environment, force acting process, motion process and the structural key parameters of the plane zigzag groove。 Finally, the design of the mechanism is simulated and optimized by using ANSYS/workbench。 From simulation results obtained the bodies to meet the needs of environmental performance results。

Keywords  MEMS technology  Inertial switch  Environment recognition  Micro-zigzag slot Damping  Simulation

目   次

1  绪论 1

1。1  课题背景及意义 1

1。2  国内外研究现状 2

1。3  本课题主要内容 2

2  环境识别机构的工作原理和性能要求 3

2。1  环境识别机构的工作原理 3

2。2  环境识别机构的性能要求 4

2。2。1  勤务处理要求 4

2。2。2  发射环境要求 4

2。2。3  抗高过载性能 5

2。3  本章小结 5

3  弹簧-质量-阻尼系统分析 6

3。1  系统模型 6

3。2  模型分析 7

3。3  弹簧设计 8

3。4  本章小结 10

4  微曲折槽设计