毕业设计（论文）题目：电弧离子镀TiAlN硬质薄膜的制备及性能研究一、毕业设计（论文）内容及要求（包括原始数据、技术要求、达到的指标和应做的实验等）

   设计内容与要求:86498

利用多弧离子镀设备在高速钢表面制备TiAlN薄膜，并通过各种检测手段，如扫描电镜，球磨仪、显微硬度计，纳米压痕仪等对所制备的薄膜进行检测和力学性能研究，用摩擦磨损试验机检验薄膜摩擦磨损性能，用电化学工作站测试薄膜耐腐蚀性能。论文网

应做的实验：

（1） 采用多弧离子镀设备，在高速钢片上溅射TiAlN薄膜；

（2）运用扫描电子显微镜对所得到的薄膜进行形貌和截面厚度观察，获得薄膜的形貌照片和厚度;

（3） 用球磨仪测量薄膜的厚度；

（4） 用显微硬度仪测试薄膜的硬度；

（5） 用纳米压痕仪测试薄膜的硬度和弹性模量；

（6）用摩擦磨损试验机测试薄膜的摩擦磨损性能；

（7）用电化学工作站测试薄膜的耐腐蚀性能。

二、完成后应交的作业（包括各种说明书、图纸等）

1。 毕业设计论文一份（不少于1。5万字）；

2。 外文译文一篇（不少于5000英文单词）。

三、完成日期及进度

2月29日至6月17日，共16周。

进度安排：

1。 2。29-3。11，查阅资料、调研，完成开题报告；

2。 3。14-4。15，第一部分实验，制备薄膜及摩擦磨损实验

3。 4。18-5。20，第二部分实验，薄膜性能检测及电化学实验

4。 5。23-6。3，学生交论文材料及教师评阅论文；

5。 6。6-6。17，毕业答辩。

四、主要参考资料（包括书刊名称、出版年月等）: 

[1] 刘海浪。电弧离子镀AlTiN涂层及其热处理性能研究，2008

[2] 王福贞, 闻立时。 表面沉积技术[ M ] 。 北京: 机械工业出版社。 1989。

[3] 闻立时。脉冲偏压电弧离子镀的发展现状及前瞻 [J]，全国真空冶金与表面处理学术研讨会会议论文集，2005。

[4] 王福贞。沉积硬质涂层技术的新发展[J]。 真空，2007，44：13。

[5] Lei Wang。 Influence of deposition parameters on hard Cr–Al–N coatings deposited by multi-arc ion plating [J]。 Applied Surface Science, 2012, 258: 3629