表1-1  目前国内干涉仪产品性能指标对比
      Agilent   renishaw   ZYGO   成都工具所
激光头   单/双频   双频   单频   双频   双频
   产生双频方法   塞曼效应   /   声光调制   塞曼效应   塞曼效应
   最大频差(MHz)   4   /   20   3。65   1。2
   最高测速(mm/s)   1000   1000   5100   500   300
数据电路板   最高测速下分辨率(nm)   1。24   1。24   0。31   1。24   20
   最高测速下测量范围(m)   40   80   40   40   20
 
   激光干涉仪向着高精度、高分辨率、高测速等方向发展,为了实现上述目标,其研究领域也在进一步深入拓宽。我们应该加强研究,争取早日进入世界一流水平,缩小与世界顶尖产品的技术差距。














第二章 项目原理
2。1激光干涉仪工作原理
本次项目激光源采用氦氖激光器,发射出具有中频差的双频激光,频差在4MHz~20MHz之间,发射出频率分别为F1和F2的双频激光。然后双频激光通过1/4波片,将双频激光形成两束偏振方向互相垂直的线偏正光,1/4波片起到检偏的作用。信号通过分光镜,取其中小部分能量(4%左右),经过检偏器,后由光电接收器所接收,形成参考信号。
经过分光镜后剩余的大部分能量穿过分光镜进入干涉系统。偏振分光镜将双频激光分离,频率为F2激光反射到固定棱镜上,频率为F1的激光穿过偏振分光镜进入可动棱镜。可动棱镜发生运动时,产生多普勒效应,频率F1变成F1+∆F的新激光,后经过反射,返回偏振分光镜。F2偏振激光也经由固定棱镜反射返回偏振分光镜与它汇合,后经过1/4波片重新形成左右旋圆偏振光。然后经由分光镜和转向镜形成两路参考信号,一路是测量信号cos[2π(F2-F1±∆F)],另一路测量信号是sin[2π(F2-F1±∆F)]。文献综述
两路信号都由光电接收器所接收,进入减法器与参考信号进行频率相减,滤掉高频后,形成带有∆F的倍频信号,其与速度近似成正比,然后对其计数(数学上等价为对速度计分),形成位移测量基本公式L=(λ/2)N(N为计数器所得的脉冲数)。
具体激光干涉仪工作原理如图一所示。

图2-1  激光干涉仪工作原理图
2。2激光干涉仪测量原理
干涉仪通过检测参考信号和测量信号的相位差得到被测体位移。
记参考信号频率为,测量信号频率为,光学细分倍数为,则根据多普勒原理可知

其中n为介质折射率,为激光波长,为被测物体瞬时速度,进而得到

不失一般性,假设时刻参考信号与测量信号相位相同且均为0(上升沿对齐),其测量位移为0(二者如果之一不为零,下面推导中仅是引入一个初始固定相位差,可通过减去初始位移消除,不影响最终测量结果),则在时刻,被测体位移为来.自^优+尔-论,文:网www.youerw.com +QQ752018766-

其中是参考信号在到时间内累加的相位;是测量信号在到时间内累加的相位。
将参考信号累加相位和测量信号累加相位分别改写为

其中,是参考信号的整周期(整波)数,是参考信号的非整周期相位;是测量信号的整周期数,是测量信号的非整周期相位。将(4)(5)代入(3),则被测体位移为
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