图2.1 白光干涉条纹图像

而且由于白光光源的相干长度短，条纹只出现在一个有限的空间区域，而且如果干涉仪不是完全聚焦和色散平衡的，条纹可能根本不会出现。因此白光扫描干涉测试相比于传统的单色光干涉测试，可以消除 的测量范围的限制，从而避免了相位模糊现象的产生。由白光干涉的基本原理可知，相干光强值最大的位置（即为相干峰的位置）就是零光程差（ ）的位置，而相应测试点的相对高度值就包含在相干光强峰值的位置信息中，从而可以得到整个被测表面的形貌了。

由此可知，要提高白光扫描测试的精度，必须要准确地定位光程差为零点的位置，即为提高确定相干峰值位置的算法的精度。

2．3  白光扫描干涉测试法的测量流程

基于白光扫描干涉测试法的基本原理，可以得到白光扫描干涉测试法的测量流程。首先将被测件放置于白光干涉测试仪的测试台上，对测量平台进行调节，使得白光干涉条纹出现在视场中。然后依据被测件的PV值的大致范围，设定合适的采样参数。再使用PZT在干涉视场中进行扫描，利用CCD相机将获取的白光干涉条纹图像存入计算机内存中。最后经由白光干涉测试算法程序对待处理的白光干涉图样进行数据处理，最终计算出被测物体的表面高度信息。以上就是白光扫描干涉测试法的测量基本流程