图 2。1 CCD 的 MOS 结构

2。1。2 QD 四象限探测器

四象限探测器（如图 2。2）由四个在同一衬底上绕原点排列的光电池组成。四个光电池相 互绝缘分别输出各自的信号 [13]。如果光信号偏离了光轴，则四个信号幅度不等。通过计算， 可以得知光信号成像位置。四象限探测器适用于波长不同的光，体积小，抗干扰能力强。文献综述

图 2。2 四象限探测器

2。1。3 PSD 位置敏感器

PSD 位置敏感器是一种光电探测器，通常会做成 P-I-N 结构（如图 2。3）。P 层半导体两 端是输出电极，N 层半导体底部可以加反偏电压。I 层本征半导体结电容小、耗尽区宽，所以

光生载流子都主要在 I 层生成。PSD 根据位置变化量和角度的关系就可以得到待测平面的微 小角度变化，根据测量的微小角度变化算出角位移或线位移变化量。它的优点是响应速度快、 电路简单。但是相比于另两种光电器件，它的灵敏度不高，且噪声大