LED 波长 红 632nm、绿 525nm、蓝 475nm LED 个数 32×32
LED 间距 3mm
单个 LED 发光 面尺寸 单个 LED 亮度
150μm 2000cd/m2
阵列尺寸 128mm x 128mm x 17mm (5。0" x 5。0" x 0。65")
重量 170g
单个 LED 覆盖光锥角 150°
电源 5V
电流 最大 2A(全亮)
图 2。6 可编程 LED 阵列照明系统示意图
图 2。6 中 d 表示可编程 LED 阵列中相邻像素中心之间的间距,d = 3mm。i 表示可编程
LED 阵列中第 i 个像素的照明角度。H 表示可编程 LED 阵列距离载物台上表面之间的距离,H
= 60mm。假设max 代表最大的照明角度,若用 D 表示正中心 LED 像素与最外边的 LED 像素
中心之间的距离,易求得 D 7 sinmax 0。44 。
d 29。7 mm。由 tanmax D / H 0。49 ,可得max 26。33 ,
传统显微镜中,由于孔径角是难以增大的,所以若想增大 NA 值,只能通过一些物理方法
来增大介质的折射率值,如水浸物镜和油浸物镜。在本设计中由于采用了 FPM 合成孔径技术, 可以将物镜的等效数值孔径大大增加,比如传统我们所采用的 4×物镜的数值孔径为 0。1,我们 采用 LED 阵列可控照明的最大角度为max 26。33 ,sinmax 0。44 。所以当采用 LED 阵列照明 合成孔径后,理想情况下其等效数值孔径增加 0。44,即达到 0。54,提升了 5。4 倍。如果波长为
632nm,则由显微镜的横向分辨率公式0。61,可计算出系统的横向分辨率约为 4。0μm。而
NA
采用 LED 阵列照明合成孔径后,理想情况下其等效数值孔径可以达到 0。54,所以相应地,理 想情况下横向分辨率可以提升到 713nm。
2。2。3 1951 USAF 分辨力测试板
本设计中我们选取了高精度 1951 USAF 分辨力测试板来定量衡量 FPM 方法的横向分辨能 力。1951 USAF 分辨力测试板(1951 USAF resolution test chart)于 1951 年由美国空军首次使 用,其测试图案符合 MIL-STD-150A 标准,在光学系统的分辨能力测试中被广泛应用。1951 USAF 分辨力测试板的实物图如图 2。7 所示。其图案包括几组由三条短线构成的组合,短线的 尺寸从大到小,其分辨能力极限为成像系统无法分辨的最大短线组。1951 USAF 图案包括多层: 第一层的图案最大,位于最外围;从外围到中心,图案大小不断减小,但形状保持不变;每一 层的图案都分为奇数组和偶数组两组,每组包含 6 个图元,图元从 1 到 6 编号排列;奇数组的
图元从右上角由上到下按 1 到 6 依次排列,偶数组的第一个图元位于该层的右下角,其余图元
从左上角由上到下按 2 至 6 依次排列。本设计所采用的高精度 1951 USAF 分辨能力测试板的
物理参数如表 2。2 所示。
图 2。7 1951 USAF 分辨力测试板实物图
表2。2 1951 USAF 分辨能力测试板的物理参数 线对每毫米
(lp/mm) 组编号
元素 -2 -1 0 1 2