基于一维相位求解算法,使用双波长激光来移相干涉的原理如下[9]:
假设选定的两种工作波长为和。使用工作波长为的光源对待测面进行移相干涉时,使用相位恢复算法运算解出的待测面上的相位信息为,,,…,。其中n为CCD的某一维方向上的有效采样点数量。类似地,使用工作波长为的光源来移相干涉时,使用相位恢复算法运算解出的待测面上的相位信息为,,,…,。
则在和的波长下,第n个采样点的光程差可表示成如下形式:
(2。2)
其中和分与和的第n个采样点的干涉条纹图样的整数级分别对应。
同样地,在和波长下,对应的第n+1个采样点的光程差可表示成: