3。2 斐索型同步移相干涉仪的设计 13

3。3 实验系统的确定 20

3。4 本章小结 21

4  斐索型同步移相干涉系统的实验及结果 22

4。1 实验系统的搭建 22

4。2 实验结果 26

4。3 实验误差分析 28

4。4 本章总结 29

结  论 30

致  谢 31

参 考 文 献 32

1  绪论

1。1 研究背景

    伴随着科学技术的发展，光学元件在天文，航天，能源等前沿科学领域逐渐得到广泛应用。自从上个世纪中期以来，由于光、机、电、算这四类仪器的广泛应用，各国的科学家发明了移相干涉仪。传统的干涉测量仪一般采用波面的相位差来测定面型，移相干涉测量仪采用的技术是检测数字波面相位，它的优点有两个：一是测量的精度高，二是能够做到自动测量。正是因为移相干涉仪的应用，拓展了光学测量的测试范围，提高了测量的测试效率，促进了现代光学制造水平的大步提高[1]。文献综述

移相干涉技术是现有的测量精度很高的一种手段,传统的时域移相干涉术一般用压电陶瓷堆来进行移相，压电陶瓷PZT通电之后，改变参考面的相位，从而产生移相干涉[2]。但是在传统的移相方案中，环境中的振动仍然会给系统的测量带来很大的误差。在当今的许多科学研究当中，移相干涉术广泛应用于光学元件及系统的高精度检测，为了消除环境振动的影响，本文将研究空间移相干涉术中的同步移相干涉方法。这种方法可以在同一时间内得到多幅干涉图，从而提高测量的精度[3]。

1。2 国内外的研究现状

1。3 课题的主要任务

本论文紧紧围绕“偏振移相的斐索型同步移相干涉测试技术”这一课题进行理论研究以及设计实验。在此过程中，结合斐索型干涉仪的设计特点，论文的开展的研究工作如下：

（1）用琼斯矩阵分析同步移相干涉方法的基本原理；

（2）在充分理解了基本原理的情况下，设计基于偏振移相的斐索型同步移相干涉仪结构；

（3）用琼斯矩阵进行原理性计算，分析可行性；论文网

（4）根据设计好的干涉仪结构，选定相应的器材，搭建好实验光路系统；

（5）在搭建好的实验平台上进行图像的采集，分析系统的抗振效果；

（6）分析系统的适用性与误差，对比现有干涉仪。

2  同步移相干涉技术的研究

2。1 移相干涉术的简介

在传统的干涉测量中，工人师傅们都是通过直接判读干涉条纹或者其序号的方法来测定被检量。由于环境因素以及人为的因素，传统的干涉测量方法的精度不能达到要求，它的不确定度也只能控制在。伴随着光电探测技术、图像处理技术、计算机技术这三种现代先进技术的发展，现代的干涉测量技术也随之产生萌芽。为了实现干涉仪的自动测试和计量，移相干涉术就在这种新的需求下发展起来了，当然，这种方法的出现也得益于新原理以及新器件的应用，它们的出现快速的提高了干涉技术的发展。移相干涉术(Phase-shifting interfcromctry，PSI)是在1974年的时候由美国科学家Burning等人首次提出的，他在光学的干涉测量技术中，将通讯理论中的同步相位探测技术引入其中，就是在此之后，计算机辅助干涉测量技术成为干涉测量技术中的一股新的潮流和趋势[16]。