摘要：在保持长平晶国家鉴定规程要求的测试精度情况下，采用口径为100mm的zygo相移式菲索干涉仪通过斜入射方法测量规格为210mm的长平晶。首先，提出了通过图像分析方法快速标定长平晶倾斜角度比例的方法，对干涉仪附件要求低，测试性价比高；其次计算了不同入射角度下，长平晶测试过程中因多次反射造成的光强对比度下降问题，提出了采用大反射率标准平晶和采样线偏振光干涉仪的两种方法，完成了实际干涉图像和波前数据的采样。最后利利用斜入射公式展开计算，并且将获得结果和正入射的干涉结果进行比较，获得较好的一致性结果。81859

毕业论文关键词 长平晶、相移干涉、倾斜测量

毕业设计说明书外文摘要

Title Use the method of Oblique incidence to measure Long flat crystal 

Abstract Use the phase shift Fizeau interferometer whose oblique is 100mm to measure the long flat crystal whose specification is 210mm when the oblique light incidents 。 First， we use the interferometer to measure the mirror type which is used in next test ， the measurement data obtained ensure that the surface type is standard so that we can continue the experiment。 Then，put the long flat crystal on the optical path， select the appropriate angle， and adjust the position of the mirror so that the interference pattern of entire flat crystal all appears in the visual field。record three sets of data， the use of oblique incidence Formula to calculate the interference pattern when the vertical light incident。 Then compare the results obtained and the results of  normal incidence interference and draw conclusions。

Keyword  Long optical flat ， Phase shift interference ，Tilt measurement 

目次

一 绪论 1

1。1 长平晶简介 1

1。1。1长平晶概念 1

1。1。2长平晶用途 1

1。1。3长平晶发展历史及现状 1

1。2 干涉测量理论 2

1。2。1干涉测量概念 2

1。2。2干涉理论发展 3

1。3 国内外干涉仪 3

1。4 论文研究的内容及目标 4

二 长平晶的检定方法 5

2。1 干涉原理 5

2。1。1等倾干涉原理 5

2。1。2等厚干涉原理 7

2。2 相移菲索干涉仪原理 7

2。2。1菲索干涉仪原理 7

2。2。2移相干涉原理 7

2。2。3相移菲索干涉仪 8

2。3斜入射测量原理 9

三 实验 11

3。1 实验仪器 11

3。2 斜入射光路 12

3。3 实验数据 13

3。4 讨论 16

3。4。1斜入射与正入射之间的关系