南京英特飞公司是国内近年来生产干涉仪的著名厂商，该公司在南理工这些年来对干涉仪的研究支持下，成功生产出了口径在25mm到600mm之间的具有特色的相移菲索数字激光干涉仪还有配套的分析软件，并由此打破了国外干涉仪制造公司在这个领域的垄断，并且占领部分国内的干涉仪使用市场。该公司生产的菲索干涉仪有立式和卧式，主要适用于各个工厂、各个研究所和各大高校对光学元件的高精度检测的需求。

图1。2 因特飞MAC系列干涉仪

对比国内外的干涉仪生产公司，在国内高校和研究所、干涉仪制造公司的不断努力和突破下，我国在干涉仪器制造上取得了值得肯定的进步，目前已经是能够自主生产出价格相对低廉、测量精度在 λ/10 -λ/20 (PV)之间的普通商用型平面和球面干涉仪。

1。4 论文研究的内容及目标

据调查，不同的口径的干涉仪的市场价格差距很大，Φ100mm～Φ150mm口径的移相干涉仪售价在20～40万左右，口径越大，价格成倍增加，如Φ300mm口径的移相干涉仪售价则在70～90万左右。本论文主要研究使用口径100mm的干涉仪测量210mm的长平晶。

非接触测量，使用斜入射的方法在干涉仪上获取图像，并根据倾斜时的干涉图像采用算法算出对应的垂直入射的干涉图样。这样就完成了小口径测量大物体，既保证了测量精度，又节约成本。

二 长平晶的检定方法

现在国家计量检定规程对长平晶的检测主要采用的干涉原理和等倾干涉仪，而等厚干涉中的相移干涉则以其采样数据点阵化、测量自动化等优势成为平晶检定的新的方向。本章将在介绍等倾干涉理论、等厚移相干涉测量原理的基础上，阐述对长平晶倾斜测量的原理。来;自]优Y尔E论L文W网www.youerw.com +QQ752018766-

2。1 干涉原理

2。1。1等倾干涉原理

原理如下：等倾干涉的光源为扩展光源，由光源发出的光首先经过半透半反镜反射，然后以不同角度入射在平板的上下两个表面，平板上下两个表面反射回的两束相干光由半透半反镜上面的透镜会聚于干涉屏上，由此获得干涉条纹。分析可知若是入射光线以相同的角度入射则由透镜会聚于同一位置，而由于入射光的入射角的改变，两束光产生的光程差也会改变，这样就形成等倾干涉条纹。条纹的特征是一个个明暗相间的同心圆环，由于倾角不同故这种干涉得名为等倾干涉。