在全世界范围内,以欧美、日本等为首的发达国家其净化行业发展历史悠久,这些国家高度重视洁净技术领域,因此这些国家的相关技术比较先进。国外产品的调查研究主要以这些国家为主,先进市面上主要有美国MSP公司、德国GRIMM公司、日本加野科学仪器有限公司和美国PMS公司等,其中美国PMS公司的标准粒子发生器PG-100在国外都获得了较为广泛的使用[4],国外标准粒子是指美国Duke公司生产的PSL聚苯乙烯塑料小球。国外已从最小探测粒径为0.5μm、采样流量为0.3L/min的白光尘埃粒子计数器发展进步到现在的最小探测粒径为0.1μm、采样流量为28.3L/min的激光尘埃粒子计数器。美国在80年代就已经能够生产出大流量的尘埃粒子计数器,测试周期也缩短至1min,同时检测的对象不仅局限于空气,也可用于液体的检测[5]。国外各公司会根据厂家不同的测量要求设计出不同采样流量的计数器,现今计数器的流量大致分为0.283L/min(0.01cfm)、2.83L/min(0.1cfm)、28.3L/min(1.0cfm)几种,也可以根据粒径测量档来划分计数器,这是根据实际的用途设计和制造[6]。30201
Tiwary等人利用粒子计数器对洁净室、液态流体尘埃以及空气尘埃进行了大气分析[7];Port等人利用一种新计算方法从测量到的散射数据值评估球形粒子的粒径大小[8];Liu B Y.H等人研究了粒子计数器的响应特性,单分散粒子由振动筛板发生器产生,粒径为0.5~10μm,研究得出粒径在1μm以上的粒子其近前向散射时产生的响应不受粒子折射率的影响,而直角散射时明显受粒子折射率影响[9];Flower等人利用动态光散射测量火焰SiO2粒子,其对测量粒子的光学特性有着显著的优势[10]。论文网
国内研究现状
当前我国的洁净技术和设备与国外先进国家相比还有较大的差距,这是由于我国光学尘埃粒子计数器的研究起步较晚。目前国内生产尘埃粒子计数器的厂家有很多,计数器的性能在不断提高,体积也越来越小。但与国外同规格的尘埃粒子计数器相比较仍有明显的差距,无论是计数器的采样流量、最小可探测粒径,还是计数器的小型化方面都有不足,此外,计数器的数据准确度、抗干扰性能方面也存在一定的差距。我国于1975年研制出普通光源尘埃粒子计数器,这台计数器的最小探测粒径为0.3μm,采样流量为1L/min,光源为普通白光,九十年代生产处最小探测粒径为0.1μm的激光尘埃粒子计数器,但其采样流量只能做到2.83 L/min。测试粒径为0.1μm洁的超洁净技术和设备在欧美发达国家已成为较为成熟的技术,但我国在九十年代才开始从事这方面的研究工作,其中上海光学精密机械研究所一直致力于提高尘埃粒子计数器的测量精度,05年利用齐明镜设计的尘埃粒子计数器的精度达到0.18μm[11]。
当前在这个领域内有多名专家致力于缩小国内外技术上的差距:杨娟等人以半导体激光器作为尘埃粒子计数器的光源,采用带有“清洁空气保护靴”的采样装置替换原有的采样装置,改进后的装置极大地间改善了计数器内光敏区的光强均匀度,同时也抑制了计数器内气路的紊流 [12];梁春雷等人成功研制出便携式激光尘埃粒子计数器的核心部件,微型光学传感器。结果表明,该系统提高了计数器的信噪比、计数效率和分辨率本领等相关参数[13];彭刚等人在研究尘埃粒子计数器标准粒子信号幅度分布时,对激光尘埃粒子计数器计数信号幅度分布与传感器光敏区光强分布、气流层流速分布之间的关系进行了理论分析。结果表明,尘埃粒子计数器标准粒子信号幅度满足对数正态分布[14]:高永峰等人在Mie散射理论基础上,由单分散粒子的散射光光强强表达式导出在偏振光的入射条件下某立体角内的散射光光通量表达式。结果表明,在探测中心与偏振方向的夹角成900或者2700时,系统收集的散射光光通量存在极值[15];顾芳等人在研究如何精确测量悬浮颗粒物的质量浓度时,采用分布标定法对尘埃粒子计数器进行标定,测量值与实际值吻合很好,充分证实了分布标定法的有效性[16];李学彬等人提出利用双角度光学粒子计数器测量大气气溶胶质量浓度,利用气溶胶粒子体积谱和密度来计算气溶胶质量浓度可以对不同粒径范围的气溶胶质量浓度进行计算,该方法对使用光学方法测量气溶胶质量浓度具有重要的意义[17];中国建筑科学研究院空调所的冯焕明研究了尘埃粒子计数器的打印机对测定结果的影响,通过对比性实验证实由于打印机的开动、打印纸的抖动、移动发尘对测试数据带来影响[18]。
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