摘要椭圆偏振术是目前实现薄膜折射率高精度快速测量的先进技术，它是偏振理论在测量领域的一个重要应用。本文大致介绍不同材料折射率测量方法，着重研究薄膜折射率测量，介绍椭偏法的发展过程和应用。本文将研究椭偏技术的基本理论和测量原理。使用实验室的SGC-2型椭偏仪进行实验，对测量软件进行探究。利用椭偏仪测量折射率，研究折射率与各变量的关系，分析实验中发现的问题和误差来源。87545

毕业论文关键词  折射率  椭圆偏振术  薄膜

毕业设计说明书外文摘要

Title    Material measurement of refractive index method 

Abstract The ellipsometry is the advanced technology of high precision and fast measurement refractive index of thin film,it is an important application of the polarization theory in the field of measurement。We introduce the refractive index measurement methods of different materials, and study the measurement of refractive index of thin films emphatically。 This paper studied the basic theory and measurement principle of ellipsometry。 The experiment was carried out using the SGC-2 type ellipsometry in the laboratory, and the measurement software was explored。We measure the refractive index,study the relationship between the refractive index and the variables,analyse the problems and sources of errors which were found in the experiment。

Keywords  refractive index   ellipsometry   thin film

目   次

1 绪论 1源-于,优~尔^论=文.网www.youerw.com 原文+QQ7520~18766

2 椭圆偏振术3

2。1 椭偏术的产生、发展和应用3

2。2 椭偏仪偏振理论  4

3椭圆偏振仪器 10

3。1 SGC-2型椭偏仪简介 10

3。2 软件的使用11

3。3小结 17

4 实验数据及处理18

4。1 椭偏仪实验数据18

4。2 数据分析19

结论  26

致谢  28

参考文献29

1  绪论

折射率是表征光透明物质光学性质的重要物理量[1]。折射率表明了材料的特征，这会决定材料的质量好坏和应用范围。作为一个光学参数，它直接决定光学器件的质量，影响整个光学系统。比如实验室常见的棱镜，镜片，各种标准件，光纤通信对折射率的要求也很高，折射率是最关键的要素。液体的浓度也会改变折射率，所以测量折射率能够探测液体的成分，在食品安全、溶液浓度检测等方面有很大作用。折射率会受到很多因素的影响，材料温度、密度等变化都会使折射率发生变化。因此，快速并且精确测定不同物质的折射率，在各类领域都有极其重要的实际意义。

材料折射率测量方法多种多样，可以通过探测光的偏折角度；也可以根据折射率不同改变光程差引起的光束的干涉现象测量；还可以按照光的偏振现象探测偏振态变化测量折射率。测角法，就是测量光线偏折角度，典型的方法涵盖阿贝折射仪法、最小偏折角法[2]、自准直法、V型棱镜法、油浸法、全反射法[3]。利用干涉现象可分为光纤杨氏干涉法、迈克尔逊干涉法[3]、马德泽赫干涉仪[5]、法布里珀罗干涉仪法[6]、等倾干涉法、衍射光栅干涉法、白光干涉法。这些方法有的适用于液体，有的适用于固体，有的适用于多种不同形态的样品，如阿贝折射仪可测量固体、液体和气体。液体折射率测定有几何光学法和波动光学法两类，前者包括掠面入射法[7]、最小偏折角法、激光照射法[8]，后者包括光纤杨氏干涉法[9]、衍射光栅法、CCD测量法[10]。气体折射率测量在大气折射率测量以及在航空航天方面有重要应用，主要是应用折射现象测量。晶体测量方法就比较多样，由于晶体固体的特点，形状易于改变，适合于各种不同的测量仪器。From+优 尔-论+文W网www.youerw.com 加QQ752018`766