光学波前参数的分析评价方法研究(2)
低频段误差的空间周期大于33mm,也就是空间频率小于0.03mm-1。通常称低频段误差为面形（figure）,低频误差对应于传统像差,主要来源于系统装调和镜面因制造残留的缓变误差，描述为系统的波像差。它对光束的影响主要为降低光斑的中心亮度和均匀性，不会引起中心亮度的展宽，对其评价多用RMS、PV指标来描述。
中频段误差的空间周期在0.12到33mm之间，对应的空间频率在0.03到8.3mm-1。通常称表面中频段误差为表面波纹度（ripple），中频误差和高频误差都采用散射理论来描述，并根据散射角的大小来区分。中频误差在光学系统中的散射会导致中心亮度降低并使其展宽，产生耀斑，影响对比度。该频段的误差多用功率谱密度函数来描述。
高频段误差的空间周期小于0.12mm，对应的空间频率大于8.3mm-1。通常称高频段误差为粗糙度（roughness）。该误差造成光束散射，会极大地降低光斑的中心亮度，但不影响光束质量。高频误差会影响光学元件的反射率（透射系统则是透过率）。中高频散射导致的能量损耗是非常可观的。对高频段误差的描述通常用表面粗糙度Ra或均方根粗糙度。
1.2 研究现状
1.2.2 中频误差评价指标的研究现状
1.2.3 高频段误差的研究现状
1.3 主要研究内容
本文主要研究光学波前参数的分析评价方法，主要研究低频段和中频段的评价参数，高频段暂不考虑。主要学习了经典波前评价指标：峰谷值、均方根值和波前频率分析方法：功率谱密度函数和小波多尺度分析方法。本文主要分析飞切法加工的玻璃元件的检测波前。对波前数据的低频段分别采用低通滤波器和小波多尺度分析方法进行低通滤波然后计算峰谷值和均方根值，并进行比较。对波前数据的中频段分别采用带通滤波器和小波多尺度分析的方法提取出中频信息，计算平均功率谱密度，找出特征频率点，并进行比较。
第二章主要介绍光学波前的分析方法，介绍了光学波前形成原理、经典波前评价指标：峰谷值和均方根值、波前频率分析方法：功率谱密度函数和小波多尺度变换分析方法。
第三章主要内容为光学波前分析与评价，介绍波前干涉测量的方法，进行了光学波前低频分析和光学波前中频频率特征分析。
第四章总结与展望。
最后是结论和致谢。