摘 要:射频CO2激光器因为其独特的优点，在激光加工领域中占有非常重要的地位。射频CO2激光器的重要组成部分之一是射频电源，射频CO2激光器的性能好坏与射频电源的设计有着很大的关系。本论文采用了振荡与功放一体化的电路和四分之一波长微带传输线进行输出电路匹配，并通过计算获得了最优的四分之一波长微带传输线的参数的方法,设计了功率为10W的射频CO2激光器射频电源，得到了稳定的激光输出。79079

毕业论文关键词：射频CO2激光器，射频功率放大器，阻抗匹配 

Abstract：Today, the RF-excited CO21aser holds the important position in the laser processing

industry because of its unique advantage。 The RF power source is one of the important components of the RF-excited CO2 laser。 It is important to design excellent RF power for the RF-excited CO2。This paper adopts the oscillation and the integration of the power amplifier circuit and a quarter wavelength microstrip transmission line output circuit matching, and obtained the optimal through calculation of quarter wave microstrip transmission line parameters, the method of designing the RF power of 10 W RF-excited CO2 laser power supply, stable laser output are obtained。

Keywords：RF一excited CO2 laser, RF power amplifier, impedance match

目   录

1  绪论 3

1。1  射频激励CO2激光器的发展 3

1。2  射频激励CO2激光器优异性能 5

1。3  射频电源的发展概况 5

1。4  课题的研究目的、意义与内容 5

2  射频电源设计的相关理论 6

2。1  射频气体放电有关理论 6

2。2  射频电源设计中的重要概念 8

2。3  射频电源设计的相关技术参数 8

2。4  本章小结 10

3  射频电源的设计 10

3。1  射频电源的原理 10

3。2  自激式射频电源的设计 11

3。3  本章小结 18

4  射频电源制版及实验结果 18

4。1  元器件的选择 18

4。2  自激式射频电源PCB电路板的设计 19

4。3  实验结果和结论 20

4。4  本章小结 23

结  论 23

参考文献 24

1  绪论

1。1  射频激励CO2激光器的发展 

1。1。1  国外发展概况

1。1。2  国内发展概况

1。2  射频激励CO2激光器优异性能

射频激励CO2激光器具备众多的优点，比如构造紧凑、光束质量高、优良的调制特性、稳定的功率输出、运行很可靠和使用时间长等，其应用领域很广范，凭借这些优点在厚板切割和焊接等材料加工方面得到很好地发挥。对中小功率射频CO2激光器而言，除了有跟大多数射频激励CO2激光器一样的优异性能之外，在各种商用激光器中，CO2激光器的每瓦输出总是以最低的成本，插头效率大多数时候都保持在10%～12%之间，相对来说较高。大都材料只有在激光辐射为10。6μm左右时才强烈吸收，特别是在手机屏幕的切割这一块领域的应用尤其适用，手机屏幕只有在10。6μm的时候才不会产生崩边的现象，切割出来的屏幕边缘光滑。激光器运转模式可以在连续、脉冲、增益开关和调Q之间任意选一个，由此可见加工的灵活性得到了很大的提高，从此获得了材料加工、医疗外科和激光雷达等多方面业界人士的垂青。论文网