摘要太阳能光谱选择性吸收涂层的光学性能优劣是影响太阳能光热转换利用的关键因素。金属陶瓷选择性吸收涂层因为在太阳能辐射光谱范围内具有较高的吸收率，同时涂层在受热后具有较低的发射率，成为了光谱选择性吸收涂层的研究热点。但是金属陶瓷的高温热稳定性一直是制约其在中高温领域应用的难点。本文利用高空直流磁控溅射镀膜机，采用交替沉淀金属层和介质层的方法，研究了多层结构下Cu-SiO2和W-SiO2金属陶瓷的光学性能，通过在真空条件下退火温度的不同来研究其高温下的热稳定性。100 oC下样品的吸收率为0。83，发射率为0。068，涂层的优质系数达到0。711；300 oC下样品的吸收率为0。90，发射率为0。157，涂层的优质系数达到0。716。83123

毕业论文关键词  磁控溅射  金属陶瓷 太阳能选择性吸收

毕业设计说明书外文摘要

Title    Magetron Sputtering of Nikel based cermet solar  Thermal research conversion performance                                               

Abstract Optical performance of the solar spectral selective absorbing coatings is the key factor that affects the solar-thermal conversion。 Cermet selective absorbing coatings become the hotdpot of spectral selective absorbing coatings reaserch, as for the scope of the solar radiation spectrum has high absorption rate and low emissivity coating after heating。 But it is restricted by the high temperature and thermal stability of its application in high temperature field in difficulty。 In this paper, we studied the optical properties of Cu-SiO2 and W-SiO2 multilayer structure cermet by using high-altitude DC magnetron sputtering machine and the method of alternating metal and dielectric layers precipitation。 Research at different annealing temperature vacuum conditions to its thermal stability at high temperatures。 At 100 oC，the absorption rate of the sample is 0。83 while the emission rate is 0。068, the coating quality factor is 0。711。 At 300 oC, the  absorption rate of sample is 0。90, while the emission rate is 0。157, the coating quality factor is 0。716。

Keywords  Magnetron sputtering   cermet  solar selective absorption

目   次

1 绪论 1

1。1 引言 1

1。2 太阳能光谱选择性吸收涂层的研究现状 1

1。2。1 太阳能光谱选择性吸收涂层的基本概念 1

1。2。2 太阳能选择性吸收涂层的基本原理 4

1。2。2 涂层的制备方法 6

1。3 本论文的研究内容 8

2 实验装置和实验方法 9

2。1 实验装置 9

2。1。1 薄膜的制备装置 9

2。1。2 退火装置 10

2。1。3 光学测试方法 10

2。2 薄膜的制备及处理工艺 12

2。2。1 制备工艺 12

2。2。2 退火工艺 12

3 实验结果与分析 14

3。1 引言 14

3。2 多层Ag-Al2O3金属陶瓷的光学性能分析 14

3。2。1 多层Ag-Al2O3金属陶瓷的光学性能测试