早在1920年以前,电磁波可在介质材料中存在和传播就被科学家们所发现,1939年,美国斯坦福大学的Richtmyer研究员首次把一个非金属微波谐振器称为介质谐振器,至此人们才发现介质材料可以作为非金属谐振器。然而,当时没有进行相关的理论研究跟进,因此在此后的若干年内,这个发现并没有引起科学工作者的兴趣。20世纪60年代初期,哥伦比亚大学的Okaya和Barash等人开始探索用金红石结构的TiO2单晶来制作小型的微波介质谐振器。86377
与此同时,为了研究这些介质材料的性能参数,相继研究出一些关于在微波频率下测试表征介质材料的介电损耗与介电常数的方法,最著名的Hakki-Coleman谐振腔法,直到现在仍然在广泛使用。以Ba Ti O3陶瓷是一类典型的长期用于制作电容器的介质材料,主要应用于低频电路;1970年前,研究发现位于富Ti(Ti原子百分比>50%)一侧的BaO-TiO2化合物具有良好的高频率下的介电性能,表现出高介电常数,低介电损耗,介电常数温度系数可以相互补偿的优良特点。Masse等人早在70年代初就已经首次研究出介质损耗低且热稳定性优异的BaTi4O9(εr=38,Q=13000GHz,τf=13ppm/℃)介质陶瓷材料,随后美国贝尔实验室成功研制出性能优良的Ba2Ti9O20材料。这两种性能优良的微波介质陶瓷材料实现了微波介质陶瓷的实用性,至此以TiO2为起点,拉开了介质谐振器研究开发领域的帷幕。不久,日本研究制备出(Zrx,Sn1-x)TiO4体系陶瓷材料,当x=0。2时,这种锆锡钛陶瓷表现出最优的微波介电性能,因为其良好的性能参数而得到了极为广泛的应用,使得微波介质陶瓷的研究进入到飞速发展的实用新阶段。20世纪80年代,作为一种新型的电子功能陶瓷材料,微波介质陶瓷才渐渐发展起来。美国、日本两个国家不仅开创了微波介质陶瓷的研究,并且在全球一直处于领先地位,虽然我国在这个领域的研究对于美日两国还处于落后地位,但是目前我国微波介质陶瓷材料的研究正处于非常活跃的时期。