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在二十世纪四十年代,Goertz 在国家实验室研制成功了世界上第一台遥操作机器人。1954 年，Goertz 设计了第一台可编写电子程序的工业机器人，是一个带伺服反馈的机电遥操作系统[3]。在1966年，美国海军在潜艇上运用遥操作系统以及摄像机来进入深海进行一些打捞任务。1975年美国成功发射了海盗一、二号火星探测器。87432
在1991年出现了最早的基于互联网的遥操作系统 ， 当时的Troyan 将一个照相机接入了Internet，是Internet第一次被用来控制硬件设施。1993年加州大学Ken Goldberg等人将SCARA型机器人接入网络，进行物品挖掘作业。1994 年西澳大的 KenTaylor 通过Web浏览器实现了控制一台 ABB 工业机器人运动的系统，操作人员可以通过使用网络来控制这台工业机器人对操作台上的积木块进行搬运等相应的操作。1995 年Anderson建立了基于网络的SMART 结构。1995年KenGoldbegetal实行的Mereury计划把一台三自由度机器人连入Internet。其后数星期,澳大利亚Taylor等成功地建立了“Australian Telerobot on the Web”,成为当今最成功的网上机器人:远程操作者在被授权后,可用计算机通过internet远程控制在澳大利亚实验室中的机器人[1]。1996年，英国布拉德福德大学研制出了可以用网络远程控制其角度以及焦距的望远镜，并能反馈自身的观测结果给操作者。网络遥操作系统于1999年发展至可应用于医疗领域，应用于外科手术的主从式遥操作系统被研发出来。1998年卡内基梅隆大学的基于网络控制的自主式移动机器人Xavier；2000年瑞士联邦理工学院的自主式移动机器人khep；以及美国的火星极地登陆者都是将网络应用到对移动式机器人来进行遥操作的领域。1997年日本研究了“友善网络机器人学(Friendly Network Roboties)”，以开发一些既能够进行自由控制,又能够通过网络进行遥控操作的人形机器人。还有实时遥控机器人技术（Rcube)能够使得远程操作人员利用网络操控机器人,在发生灾害时代替人力进行救援，也可用于帮助老年人和残疾人等弱势群体。1997 年，美国 Wilkes 大学 M。R。 Stein将一台用于画图的 PUMA760 机器人与 Internet 连接，M。R。 Stein 的机器人实现了真正意义上的动态交互式作业[4]。1998 年，瑞士联邦技术学院的 P。 Saucy博士进行了基于 Internet 的移动机器人控制的实验；同年，美国卡内基梅隆大学的 R。 Simmons完成了通过 Internet 的移动机器人导航实验，可以通过 Internet 控制移动机器人在楼内各个房间运动，完成传递文件的任务[4]。2000 年日本国家空间研究所(NASDA)成功地对人造卫星上的机器人进行了遥操作[4]。2004 年“勇气号”火星车登陆火星，发送了火星表面的照片回地球。2004年英国Shadow公司研制出了“最灵巧的机械手”，它具有24个关节，有20个自由度，并且它可以模仿人手的各种各样的动作。论文网
就国内而言，我国对遥操作系统的研究起步比较晚，但是发展较快，许多院校与科研机构都取得了一些较为显著的成果。哈尔滨工业大学成功于2000年研究出了基于网络的遥操作系统PUMA562。上海交通大学也研制出了基于Adept604-S型工业机械手的遥操作系统。在2003年，在中国人民解放军海军总医院的医生 ，通过互联网控制几百公里外的位于沈阳医院的机器人成功地进行了一例颅腔穿刺手术。这是我国第一次远程遥控的外科手术，也是世界上第一例远程遥控的神经外科手术。
1986 年，国家的八六三计划成立了8个机器人网点开放实验室和沈阳自动化所、哈工大两个中心。清华大学、上海交通大学、哈尔滨工业大学、国防科技大学、北京航空航天大学、东南大学、中科院沈阳自动化所、航天 502 所、中科院合肥智能所等院校与研究所于1993年开始研究遥操作技术，1996 年自动化领域智能机器人主题将遥操作机器人技术列为关键技术，此后开展了基于 Internet 的遥操作机器人方面的研究。经过了多年的努力，在空间、海洋等应用领域都取得了很大的成果。近十年来，国内基于网络的遥操作技术得到了飞速的发展。