在各种微观表面形貌非接触测量方法中，光学测量法不仅能实现高精度的快速非接触测量，而且系统结构简单，成本较低，因此在表面非接触测量领域得到了快速发展。国外生产白光干涉微观轮廓仪的丰要公司是Veeco公司、ZYGO公司和Taylor-Hobson公司。这三个公司主流的白光干涉轮廓仪分别是Veeco NT 9080、ZYGO NewView 7300和Taylor-Hobson CCI 3000A。这三种型号的轮廓仪均采用Mirau型的双光束干涉光路，通过微位移控制器控制Mirau干涉物镜，进行轴向扫描，得到微观表面形貌。表1．1中列举了这3种型号的轮廓仪的主要性能和参数对比。63011

表1-1 NT9080、NewView 7300和CCI 3000A轮廓仪性能参数

生产厂商 Veeco ZYGO Taylor Hobson

型号 NT9080 New View 7300 Talysurf CCI 3000A

垂直测量范围 10mm 20mm Z方向拼接可大于10mm

垂直分辨率 小于0.12nm 可达0.2nm 最小可达0.01nm

RMS重复性 0.015nm 小于0.01nm 0.03nm

垂直扫描速度 28um/s 135um/s 扫描时间5~40s

光学分辨率 最小0.49um（50×物镜） 0.36um 0.4um-0.6um

CCD分辨率 640480 640480 10241024

光源 长寿命绿色、白光LED 长寿命LED灯 白光LED灯

反射率 <1%-100% <1%-100% 0.3%-100%

国内许多单位都在研制精密表面光学测量方法和仪器，并取得了一定的成果。其中，华中科技大学的谢铁邦、郧建平、常素萍等在国产Linnik型6JA干涉显微镜的基础上加入工控机、垂直位移扫描工作台及图像采集处理系统，研制出了WIS(White 1ight Interference Scanning)型白光干涉三维轮廓仪。该轮廓仪的垂直分辨率为0．5nm，垂直扫描范围为5mm，横向测量区域达到0．25mm，表面反射率0．3％．100％，干涉物镜的放大倍率40x，一次表面形貌的测量时间为15s-30s，可以用于表面轮廓、台阶、刻线、曲面形貌、膜厚、沟槽尺寸、MEMS三维尺寸等方面的测量[7-13]。

天津大学的张以谟、李朝辉、张红霞等自行设计研制出立式Mirau型白光移相干涉仪[14-17]。并且建立了理论模型、研究了白光干涉移相算法、对Mirau 干涉物镜和廓仪照明光路进行了光学系统设计、设计机械结构和移相系统等工作。文献综述

浙江大学的严惠民、杜艳厢、曹向群等实现了非接触地、快速地测量超薄金属带厚度[18-20]。顾培夫、薛晖等将光纤光谱仪和白光迈克尔逊干涉仪结合，在频域上分析白光干涉信号，实现光学薄膜厚度的测量，误差小于lnm[21]。

中国科学院上海光学精密机械研究所的韦春龙等研制了Linnik型移相式轮廓仪[22]。

总而言之，与国外产品相比，国内的测量系统性能上还需要进一步提高，在商品化的道路上还有很长的道路要走。