被动抗振技术是指通过采取一些措施来尽量减小外界振动对干涉测量的影响,并不进行振动补偿,系统处于“开环状态"。下面主要介绍一下抗振算法与同步移相法。63702

1  抗振算法

抗振算法主要是对包含振动影响的干涉图进行处理，通过设计算法排除误差，对相位进行修正。1989年，J.schwider提出使用多项式拟合的方法[9]，从包含有误差的恢复相位中提取出两倍频波纹状的误差分量，并将其从结果中移除之后，Kong等提出一种较为实用迭代计算策略[10]，迭代过程在对被测相位的求解和对移相量的求解这两个步骤之间交替进行，最终得到正确的相位和移相量。2004年，Zhaoyangwang等人在Kong的基础上提出一个改进算法，使得收敛速度与运算速度更快[11]。2009年，LesheL.Deck提出了一种根据/相位误差图0的信息抑制振动误差影响的方法[12]。韩国学者JuaePark于2010年提出一种基于连续采样的抗振方案[13]。论文网

2  同步移相

常见的移相干涉仪都是分时采集各帧移相干涉图的，这样就不可避免地要受到环境振动的影响。若能同时快速采集具有恒定移相步长的各帧干涉图，则可从根本上避免环境振动对移相步长的影响。基于此想法，Phase Shift Technology公司的Koliopoulos于1991年提出了同步移相干涉术(SPSI)[14]。同步移相干涉术采用偏振分光和移相薄膜技术，用四部CCD摄像机同时采集相互移相π/2的四幅干涉图，然后通过这四幅干涉图计算出位相分布图，可以得到被测表面面形。系统要求使用带高速电子快门的CCD摄像机和高功率激光管，对光学及电子器件的要求极为严格，使得系统价格十分昂贵，控制也较为复杂。

近几年来，南京理工大学的左芬等人也实现了利用光栅分光的同步移相干涉测量[15~18]。2006年，J. E. Millerd等提出了一种利用短相干光源光程匹配方法来实现同步移相，从而改善平行平板面型测量误差[19]。