大口径光学平面质量较大，传统干涉仪利用PZT推动镜面移相来检测的方法不易实现且误差较大，而波长移相干涉技术则克服了这些缺点。此外，某些大口径光学平面在使用时有角度要求，这些有特殊角度要求的大平面面形测量，无法在短腔长内实现，应当研究长腔长下的光学平面测量方法。国外大口径平面移相干涉仪的研制主要以美国为主，主要是为了满足国家点火装置（NIF）、太空望远镜与星载相机对大孔径光学元件检测及其他国防项目需要。国内进口的移相式数字平面干涉仪均为美国出品。美国Zygo公司和Wyko公司目前已成功研制出 610mm口径的移向平面干涉仪，其移相方式有两种。其中Wygo公司，采用机电式PZT移相器；Zygo公司采用波长调谐移相方式。为了打破外国队我国此类仪器的技术封锁，南京理工大学对长腔长、大口径系列干涉仪展开了深入研究。对长腔长、高精度、大口径（ 600mm）平面移相干涉仪的研究可以解决我国国内大口径原件生产制造急需的干涉测试装备问题，为我国大口径光学系统的成功研制提供了技术保障。伴随航天、光电信息产业、天文观测等国防民用高科技行业的迅速发展，各种大型、高精度、功能特殊的光学元件将获得越来越广泛的应用，而干净度干涉仪的研究为上述高精度光学元件与系统提供有效地质量控制保障。对于打破国外技术壁垒，推动社会进步具有重大意义[6]。64816

自20世纪60年代移相干涉测量思想被提出，移相相位提取算法发展至今已有多种模式,标准移相算法要求移相量是一个已知量并且要求等间隔移相, 这个要求一般很难满足。围绕着如何减小移相机制不完善而产生的误差，国内外学者先后提出了多种算法。论文网

国际上Novak 提出了几种移相量为任意值的等间隔多步移相算法, 并且通过理论分析和仿真实验找到每一种算法的最佳移相量, 当移相量为最佳移相量时相位误差最小[7]。Shouhong Tang提出了一种相移量为已知量的非等间隔五步移相算法[8]。L.Z. Cai, Q.Liu和X.L.Yang提出了两种随机移相相位提取算法[9,10]。国内移相干涉算法研究工作起步较晚，不过随着移相干涉技术应用越来越广泛，很多新的算法或改进算法也被不断提出来。例如长春光机所于杰提出的加权最小二乘法[11]，通过在最小二乘算法中添加待定的权重，分析移相点衍射干涉仪中多种误差源对算法的影响, 获得多组约束方程, 从而确定权重和新算法；清华大学王东升等人提出的四帧相位算法[12]，算法将相移误差因子作为中间可代换变量，它的大小随机变化不影响相位计算结果，即相位计算式与相移误差因子无关。

随着干涉仪技术的发展，一般来说，通过移相干涉法得到测试结果是干涉测量的首选。移相干涉技术在参考面按照一定步长移动的过程中，记录一系列的干涉图，并由干涉图序列解调出波前的相位。移相干涉图处理具有逐点计算相位、像素点之间无关的特点，其计算方法简单，并且可以抑制加性噪声和乘性噪声，是移相干涉技术容易获得高精度的重要原刚。然而，移相过程中要求移相步长精确，并且保持测试系统的机械稳定，否则会引入移相误差，这对硬件和测试环境提出了很高的要求。

总之随着移相干涉技术应用技术越来越广泛，如何能够提出一种既简单又精确地消除移相误差的算法成为一项重要的课题。后来陆续出现有四步平均法[13]、Carre平均法[14]还有南京理工大学提出的重叠四步平均算法[15]等。