静电力作为驱动力是利用正负电荷之间的相互作用来驱动电极而产生平移或旋转运动的驱动方式。要掌握静电力作用下微结构的力学性质，首先必须要研究微结构的变形和所受静电力之间的关系，其次是找出研究高度非线性的静电力与各种复杂结构阻尼等耦合在一起的动力学性质。67199

要找出静电驱动微结构力学特性主要是需要解决微梁、微型板等变形的相关问题。常见的有三种主要的方法：第一：采用有限元和边界元求解梁的变形[11]；第二：采用瑞利－金斯法求解一阶固有振动频率和临界电压 [12]；三是用迭代法求解结构的临界电压与临界挠度 [13]。部分模型[14]需要利用能量法来计算基函数，这使得对系统的分析很不方便。文献[15-17]给出了梁的振动问题的求解方法，其中文献[16]采用了数值计算的求解方法，文献[17] 则应用了降阶模型，计算较为复杂。文献[18]第一次给出了考虑气膜阻尼的微梁振动问题的求解思路，首先利用能量法计算模态参数，然后引入小变形假设进行求解。论文网

例如，静电力显微镜反映试样表面信息是依据试样与针尖之间的静电力，目前最有效的针尖静电力求解方法主要是运用数值求解方法，如有限元[20]、表面电荷方法[21]和自洽[22-23]等。尽管以上这些方法比较容易理解、实现难度也不是很大，但是却很难在静电力显微镜系统分析中得到应用。

从以上分析可以看出要实现对微器件的器件级建模和仿真的研究技术条件还不具备。而有些相对简单的建模方法又很难于融入器件级建模，这就给微机电系统的研究、开发带来了不小的障碍。鉴于此，有必要针对静电驱动的典型器件进行相应静变形的特性研究 ，这对于实现器件级建模和分析，最终整合出一整套适用于MEMS器件的分析方法将对微器件的研究带来深远的影响。