国内外很多专家学者都深入研究了双波长理论,双波长理论在很多领域都有着灵活的应用,领域涉及移相干涉,条纹投影,数字全息和显微全息等等。1984年,为了扩大单波长移相干涉的测试范围,Yeou-Yen Cheng等人提出了利用等效波长来检测面形偏差很大的表面轮廓的双波长移相干涉测试方法,解决了使用单波长干涉时出现的相位模糊问题[1]。79549

1985年,Yeou-Yen Cheng等人又作出了以等效波长相位信息校正单波长相位信息的设想,解决了误差放大效应问题,在确保测试准确度的情况下,扩展了单波长移相的测量值域。由于总体来说的双波长移相干涉系统通常使用PZT改变相位,该方法仍然有PZT在不同激光下分别移相产生的误差[2]。论文网

2004年,Michael B。 North-Morris 提出了一双波长动态干涉测试的系统,将像素化了的的相位掩膜安装在CCD之前来进行同步的移相,通过使用掩膜板消除色差的设计来实现两种波长下的同步移相,从硬件方面缓解双波长移相干涉误差较大的问题,但这一装置结构难以安装,而且其对掩膜有着不低的工艺需求,它的后续信息处理也十分复杂[3]。

2005年,Youichi Bitou提出了一种依靠空间调制器(EA-SLM)来实现移相的双波长干涉测试系统,通过EA-SLM实现双波长光向着相反方向改变同样步长大小的相位,通过使用常用的相位恢复算法运算获得等效波长对应的相位信息,但这一系统使用了大量的偏振片和衍射片,结构复杂,难以进行安装操作[4]。

2006年,Joanna Schmit 据双波长移相干涉的过程中,两种激光分别工作时PZT移相存在校准误差且此误差对测试结果有着很大影响的问题,提出了一利用移相调校误差对测试结果影响小的八步移相算法来解出两激光对应相位大小的新方案,但八步移相难以进行计算且它的移相误差补偿效应仅在某一范围内存在[5]。

2011年,D。 G。 Abdelsalam提出了一基于偏振分光光路设计的双波长干涉系统,通过闭回路来控制PZT实现两种激光的准确移相,它的分辨率达到了1nm,不同波长下移相校准误差问题得到了控制,但达到此装置需求的PZT普遍造价十分昂贵[6]。

2013年,田爱玲等人在其专利中描述了一种利用可调谐范围大于30nm的变频激光器分别在两个中心波长处进行移相干涉的双波长移相干涉测试系统。由于此装置仅通过一个可调谐激光器在两个中心波长处进行波长移相,这种方法花费大量的时间,同时后续处理过程较为繁杂[7]。

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