摘要本试验选用PZT-5陶瓷粉末,用传统制陶瓷单片法制备出单层陶瓷片。接着选出达标的单片。用叉指型粘接法成功制备出PZT压电陶瓷叠堆致动器。并对其机电性能进行了表征。
试验结果:在空载下,电压与位移成正相关。在200V直流电压下,能输出19.4μm的纵向位移,应变量接近0.1%;负载时,压电陶瓷叠堆致动器同一电压下,位移应变随着负载力的增加先增加,后下降。峰值是22.1μm,此处负载为0.6kN。此外,负载时要保持位移量在空载位移量以上,即位移在千分之一以上,最大的负载可近似为1.5kN。34036
PZT压电陶瓷叠堆致动器具有控制精度高、响应速度快、线性度好、功耗低等优点,已被广泛应用于电子、通信、医学等诸多领域。PZT压电陶瓷叠堆的制备技术对于科技发展就很有必要。
毕业论文关键词 PZT压电陶瓷叠堆致动器,叉指型粘接法。
毕业设计说明书外文摘要
Title Preparation and mechanical and electrical properties of the PZT piezoelectric ceramics pile
Abstract
The single layer ceramic piece was manufactured by PZT-5 ceramic powder According to the technological process .The PZT piezoelectric ceramic stack actuators were fabricated with Fork type of Cut-and-bond.and tested the mechanical and electrical performance.
The results indicate that the longitudinal displacement of piezoelectric stack actuator is about 19.4μm when the drive voltage is 200v in free condition, whose stain reaches 0.1%.And the driver voltage is positive correlation of the displacement .But when it is the actual load and the same voltage, the piezoelectric pile displacement increases first and then decreases with the increase of load .the peak is 22.1 microns when the load of 0.6 kN.In addition, if the displacement want to reach more than in the no load displacement, that the displacement over one over one thousand of the total thickness, the load will be inferior to 1.5 kN.
The PZT piezoelectric ceramic stack actuator has many advantages, such as good degree of tiny displacement control, fast reaction, energy conservation and efficient operation, good correlation etc. It is important for the progress of technology to make progress the Preparation of the PZT piezoelectric ceramics pile.
Keywords PZT piezoelectric ceramic stack actuator,Fork type of Cut-and-bond.
目 次
1 绪论 1
1.1研究背景 …1
1.2 压电材料 1
1.2.1 压电效应 1
1.2.2 压电材料中的压电陶瓷 … 3
1.2.3 压电器件方面的应用 4
1.3 锆钛酸铅(PZT)基压电陶瓷…4
1.3.1 PZT压电陶瓷的结构和相图…4
1.3.2 PZT的掺杂改性6
1.3.3 做致动器的压电陶瓷6
1.4 多层压电陶瓷叠堆致动器8
1.4.1 多层压电陶瓷叠堆致动器的结构8
1.4.2 多层压电陶瓷叠堆致动器的制备…10
1.4.2.1 陶瓷片粘接法…10
2 PZT压电陶瓷叠堆的制备… 11
2.1 前沿…11
2.2 试验过程…11
2.2.1 材料准备…11
2.2.2 粉末制单片12
2.2.3 粘接法制备PZT陶瓷叠堆15
3 PZT压电陶瓷叠堆机电性能表征 19
3.1 测试单片机电性能表征…19
3.2 PZT压电陶瓷叠堆空载时位移性能表征 22
3.3 PZT压电陶瓷叠堆负载下的位移性能表征 …23
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