3。2。3 全状态线性化 17

3。2。4 状态反馈控制 19

3。2。5 温控系统仿真分析 21

3。3  Backstepping控制 25

3。3。1 Backstepping介绍 25

3。3。2 温控系统仿真分析 27

结  论 30

致  谢 31

参 考 文 献 32

1  绪论

1。1  选题背景与意义

本毕业设计的选题主要是基于“卓工计划”，通过学校与企业的联合协作，本人获得了进入南京中电熊猫液晶显示科技有限公司学习的宝贵的机会，通过几周的学习研究，对液晶的生产过程有了一定的了解，同时对液晶的研究兴致也逐渐提高。通过查阅一些文献资料，知道了液晶属于一种中间态物质，介于液体和晶体之间，而液晶显示器已经成为人们生活中的一种不可或缺的东西，获得了极其广泛的应用，甚至TFT-LCD液晶显示技术已经成为新型显示产业的第一支柱，在未来的10年内没有一种显示技术可以超越TFT-LCD液晶显示产业。由于一切的实际生产过程都存在非线性，液晶生产中的许多工艺流程不可避免的存在非线性，例如TFT加工、单元装配、面板切割及薄化过程和高温检测时采用的温度控制系统等，这些过程基本上都可以用一般的非线性系统表示，而非线性系统的控制问题一直都很受研究人员的青睐，是一个非常热门的研究方向，近几十年来由于科技的飞速发展以及人工智能和系统论等学科领域的交叉应用，出现了一些新的控制理论和方法，非线性控制已经被注入了新的活力，所以研究液晶生产过程中的非线性控制有着非常重要的意义。

1。2  液晶的生产过程

到今天，液晶的发展历史已经超过了100年，在19世纪50年代，德国的生理学家Virchow第一个发现了溶致型液晶，接着在19世纪80年代奥地利的植物学家莱尼茨尔（Reinitzer）发现了热致型液晶，并由德国的物理学家莱曼（Lehmann）命名了液晶。20世纪20年代，又有很多研究者参与了液晶的制作，他们用各种方法合成出了300多种液晶。法国人弗里德以分析当时已经存在的液晶为基础，在1922年创造性地提出了液晶的分类方法，他将液晶分为3类，分为向列型，近晶型和胆固醇。20世纪60年代，美国的科学家Heilmeir[1,2]因为发现了液晶的动态散射和相变的电光效应，从而成功地研制出了动态散射（Dynamic Scattering Mode, DSM）液晶显示器，这个可以说是世界上第一块液晶显示器，这一厉害的技术成果振奋了全球的科研人员，也就是从这时起，人们开始了全球性的LCD应用的研究，液晶显示器从此开始了飞跃式发展。

在液晶显示器的发展历程中，扭曲向列相液晶显示器（TN-LCD）、超扭曲向列相液晶显示器（STN-LCD）以及有源薄膜晶体管液晶显示器（TFT-LCD）这三种液晶显示器占据了主要地位，前面两种显示器被称为被动式液晶显示器，由于在亮度、对比度、视角方面、驱动路数、彩色显示、画面大小等方面受到很多限制，致使显示器反应迟钝画面质量较差，以至于一般不会用它们制造桌面型显示器。目前人们使用比较频繁的是有源矩阵式LCD，也就是TFT-LCD（薄膜晶体管液晶显示器），现已实现产业化的TFT类型包括非晶硅TFT（a-Si TFT）、多晶硅TFT（p-Si TFT）、单晶硅TFT（c-Si TFT）,目前使用最多的是a-Si TFT，本文主要研究的即a-Si TFT-LCD的生产过程。