4 旋片真空泵
(1) 简介
旋片真空泵即有装上旋片的偏置转子在真空泵腔内作回转运动，由旋片分隔的泵腔工作室容积将会实现周期性变化以达到抽气目的的真空泵。双级油封式机械真空泵，它是用于抽除密封容器内部气体以获得真空的基本设备。它的工作原理与一般空积式泵相同，由一个与传动轴同芯安装而在泵体内处于偏心位置的转子构成，转子上安装有二个径向滑动的叶片。当转子旋转时，这二个叶片一方面受离心力的作用，另一方面受着弹簧的作用，使转子能紧密地保持与泵体内壁相贴合并不断压缩排出气体，从而达到抽真空的目地，这种情况每转会进行二次。
旋片真空泵主要由泵体（静子）和转子组成。在转子槽中装有两块以上的旋片，部分泵旋片间还装有弹簧。转子偏心地装在泵腔内，同时外缘与泵腔顶部表面的间隙大约为2～3微米。旋转时，转子在离心力等作用下,旋片沿槽作往复滑动并与泵腔内壁始终保持接触,将泵腔分成两个或几个可变容积的工作室。转子沿顺时针方向旋转 时,与吸气口相通的吸气腔容积由零逐渐增大,腔内气体压力降低，被抽气体便从吸气口源源不断地吸入。同时,与排气口相通的排气腔容积由大变小，存在腔内的气体便被压缩，待腔内气体压力大于腔外大气压力时，气体便会推开排气阀排出大气。泵在工作中转子连续转动，泵便不断完成抽气排气过程。
(2) 工作原理
旋片泵的工作原理：旋片泵主要由定子、转子、旋片、定盖、弹簧等零件组成。其结构是利用偏心地装在定子腔内的转子（转子的外圆与定子的内表 面相切两者之间的间隙非常小）和转子槽内滑动的借助弹簧张力和离心力紧贴在定子内壁的两块旋片，当转子旋转时，始终沿定子的内壁滑动。
两个旋片把转子、定子内腔和定盖所围成的月牙型空间分隔成A、B、C三个部分，当转子按图示方向旋转时，与吸气口相 通的空间A的容积不断地增大，A空间的压强不断的降低，当A空间内的压强低于被抽容器内的压强，根据气体压强平衡的原理，被抽的气体不断地被抽进吸气腔 A，此时正处于吸气过程。B腔的空间的容积正逐渐减小，压力不断地增大，此时正处于压缩过程。而与排气口相通的空间C的容积进一步地减小，C空间的压强进 一步的升高，当气体的压强大于排气压强时，被压缩的气体推开排气阀，被抽的气体不断地穿过油箱内的油层而排至大气中，在泵的连续运转过程中，不断地进行着 吸气、压缩、排气过程，从而达到连续抽气的目的。
为防止大气流入泵中,把排气阀浸在油里。油通过泵体上的间隙、油孔及排气阀进入泵腔，使泵腔内所有运动的表面被油覆盖，形成了吸气腔与排气腔的密封，同时油还充满了一切有害空间，以消除它们对极限真空的影响。
(3) 工作环境条件
环境温度：5-40℃；
相对湿度：≤90%。 PVD刀具文献综述和参考文献(2):http://www.youerw.com/wenxian/lunwen_30252.html