3.4.2实物与呈现的一致性问题 30

3.4.3干涉仪成像质量 33

4 干涉仪元件参数讨论 35

4.1 棱镜装校参数讨论 35

4.2 十字丝校准方向讨论 36

4.3 干涉仪粗校准问题的讨论 37

结论 39

致谢 40

参考文献 41 

1 引言

1.1课题研究背景

1.1.1 干涉仪在现今测量领域的应用

光学作为一门传统学科在人类科技发展史上的作用可谓举足轻重。人类历史进入二十一世纪以后，光学技术的发展与应用更为迅猛高速，焕发出的活力令人炫目。作为实现各种光学技术的物质载体，丰富多彩的光学元件应运而生。光学元件的制造过程及一些高端的制造能力就是学元件的检测过程及一些高端的检测能力的体现。光学科技与产业发展至今，已经出现了“如果你不能测量它，你就不能制造它”的局面。可以说光学检测是光学科学与工程的重要组成部分，是一种认识世界和改造世界的重要手段[1]。全球国家都极为重视光学领域的发展，在1994年美国就启动了美国国家点火装置[2，3]，上世纪90年代初法国提出了建造兆焦耳激光器的计划[4，5]。

光学零件的加工应用在很多领域，大如大型的天文望远镜，小到现代坦克的光学瞄准仪都有光学零件加工的身影。现今我国光学零件加工以即美国德国之后成为第三个可以在纳米级别加工零件的国家。无论多高精尖的加工手段其前提也必须是已测量后的数据为基准，否则将无法确定在哪里加工以及加工多少。而干涉仪即是解决测量这个问题的仪器。

干涉仪英文名interferometer是根据光的干涉原理制成的一种仪器。将来自一个光源的两个光束完全分并，各自经过不同的光程，然后再经过合并，可显出干涉条纹。比如在光谱学中，应用精确的迈克尔逊干涉仪或法布里-珀罗干涉仪，可以准确而详细地测定谱线的波长及其精细结构。论文网

1.1.2 现今国内外干涉仪的发展与介绍

1.1.4 装校余量

因为干涉仪设计时可能对加工难度和成本考虑并非十分周全所以往往实物与原理图略有出入，其中我在测量本教研室中的Φ600口径干涉仪光路中就发现了这个问题，所以在设计之初就要适当的考虑实际加工与组装时可能产生的问题，并为这些可能产生问题的地方适当地留出余地。因为本学期实验设备未能按时到校，所以我本人并未参与任何实际组装非常遗憾。但我基于自己能力范围之内尽量考虑了组装时可能产生的问题如果意见不十分专业敬请导师们谅解。

（1）边缘衍射

以往经验显示出长波红外干涉仪会产生边缘衍射，即口径为600的话在直径为550之外成像质量并不好我查阅网上资料所知各国解决的办法也相当简单，若做600口径干涉仪在实际设计中就设计为650左右给周边成像质量不好的地方留出余地，虽然可能会造成结构变大但若想从内部光学元件着手成本会大大增加反而不好。所以解决边远衍射问题即使在设计之初就适量增大干涉仪口径。

（2）结构设计时的公差与冗余

实际参数值的允许变动量。参数，既包括机械加工中的几何参数，也包括物理、化学、电学等学科的参数。所以说公差是一个使用范围很广的概念。对于机械制造来说，制定公差的目的就是为了确定产品的几何参数，使其变动量在一定的范围之内，以便达到互换或配合的要求。其中包括尺寸公差，形状公差和位置公差因本课题未对公差研究十分深入这里就不做过多赘述。 CCD成像超大口径干涉仪装校技术(2):http://www.youerw.com/wuli/lunwen_70407.html