两极板之间储存的能量为:来.自/优尔·论|文-网·www.youerw.com/
两极板之间的电容为: (2-1)
两极板之间储存的能量为: (2-2)
两极板之间的静电力为: (2-3)
把式(2-1)代入式(2-2),然后代入式(2-3)可以得到平行极板间的静电力:
(2-4)
2.2 静电驱动力作用下Euler-Bernoulli梁微段的动力学控制方程
如图2-2所示为静电驱动力作用下Euler-Bernoulli梁微段的受力简图,图中 为剪力, )为弯矩,qe(x,t) 为静电力产生的单位长度载荷,设微梁的单位长度密度为 ,抗弯刚度为EI。
静电驱动微梁的动力学研究(3):http://www.youerw.com/wuli/lunwen_73270.html