(2-2)
在导体之间所施加大小不变的电压U,而改变导体之间的距离并将其视为虚位移时,相应的也会引起电容C的变化,此时两板之间存储的电势能就等于静电力在虚位移上所做的虚功:
(2-3)
应用上式只需要知道两导体间的电容,即可直接计算出两导体之间的静电力。
2.2平行板电极间的静电力
大多数情况下,微结构静电力分析中一般都采用无限大平行平板的静电力计算公式,下面分别采用库仑定律和虚功原理来推导静电力公式。
静电力作用下微梁的变形及仿真(5):http://www.youerw.com/wuli/lunwen_75316.html