相对于传统的真空蒸镀法，磁控溅射的优点主要有以下几点:
1.膜层和基体附着力强;
2.薄膜致密、均匀，纯度高;
3.容易控制膜的成分，可以制取不同成分和配比的合金膜;
4.适用于不同的基材，如塑料、陶瓷和金属;
5.沉积速率高、适于大面积薄膜的制备。此方法仍是目前最佳的优质ZAO
薄膜的制备方法。
与此同时，磁控溅射还存在着以下缺点:第一，预先必须制备出不同成分的靶材;第二，靶的装卸不方便;第三，靶材的利用率不是很高。
总之，溅射法具有沉积速率高、适于大面积薄膜制备等优点，是目前最佳的优质氧化锌薄膜的制备方法，与内循环(internal circulation简称IC)平面器件工艺有兼容性。
3.1.2  喷雾热分解
喷雾热分解[27]是由制备透明电极而发展起来的一种方法，实验装置如图3。这项技术最早于1940铝离子掺杂氧化锌薄膜的溶胶一凝胶法制备及性能年由Foex发明，最初被称为“喷射热解技术”，用于制备透明半导体氧化物薄膜(hiZO3，Sn02等)，因此这项技术最初就是为了满足日益增长的电子(透明电极)或者光学应用(红外线反射器)的沉积或者是太阳能转换而设计的。早期的雾热解技术只是通过气流使溶液雾化，存在着许多弊端，相关的技术人员做了大量的研究工作使这项技术不断的完善。喷雾热分解法的主要原理是将一种或者几种金属盐喷涂在加热到温度约为600℃的玻璃表面。喷涂到玻璃表面的涂层物依靠玻璃本身的热量使涂层物热分解为气化膜，从而形成镀膜表面涂层。 掺铝氧化锌薄膜的光电特性及其在太阳能电池中的应用研究(5):http://www.youerw.com/wuli/lunwen_7858.html