2 移相干涉测量的基本原理 

2。1 移相干涉仪的结构 

 移相干涉仪结构图

两个振动方向相同、频率相同的单色光波叠加时将发生干涉现象。但是实际光波不是 理想单色光波，要使它们发生干涉必须利用一定的装置并让它们满足相干条件。由于使光

波满足相干条件的途径有很多种，因此相应地有多种干涉仪。 一般的，移相干涉仪由压电陶瓷驱动器（PZT）参考镜、测试镜等组成。通过步进电

机驱动 PZT 进行运功，改变参考面与测试面之间的光程差，实现移相。

2。2 移相干涉测量的原理 

移相干涉术通过移相得到多幅相移干涉图 ,由多幅干涉图通过一定的相移算法，可直 接求解相位分布。下面将以四步相移法为例，讲述移项干涉测量的原理。[2,3] 

在被测物未加载时采集一幅参考图，其光强图为

式中，a 为背景光强，b 为调制度，α为未知的随机相位。

对被测物加载，且引入四步相移，得到如下光强图：2

为了求得相位差 β，将变形后的 4 幅光强图分别与参考图像相减，得到 4 幅相减图像: 

式中sin[ 李萨如图形在相移干涉步长标定中应用研究(2):http://www.youerw.com/wuli/lunwen_82685.html