21世纪，科学技术在日新月异的发展，人类进入了电子信息化的时代。对外界事物的不断探索，使得我们更加依赖于采集外界信息的技术。在过去的的几十年中，我们已经很难找到一个生产部门或科研单位，可以完全离开传感器的应用。我们在探索未知领域和未知事物时，传感器和敏感元器件总是扮演着先行者。智能传感器已经深入到我们的各个领域中，已经成为无法替代的事物。智能传感器使机器人有着极高的科技含量，远远超出了人们的相信。有的机器人甚至可以用人类的思文来思考，感知其他事物。在工业生产中，传统的传感器由于技术有限，测量检测有着很大的局限。而智能传感器不仅可以迅速检测，还可在线控制[12]。30536
MEMS技术最早由Richard Pfynman在1959年提出设想，1962年微型压力传感器面世。1977年Endeveo提出了双岛结构，实现了10kPa以下的微型压力传感器。1992年Honywell公司制作的RibbedandBossed结构，被广泛应用在脉动风压、流量和密封件泄露量标识上。1993年，美国ADI公司采用MEMS技术，应用于汽车防撞领域，使MEMS技术第一次跨入商业领域。1994年Kuehnel等人研制出AGXL50型微加速度传感器，制作在一块仅仅9平方毫米的硅片上。20世纪90年代，发达国家纷纷投资建设大型传感器研发机构，促进发展。国外传感器已经实现了数字化、智能化、微型化，并且还在不断创新发展中。目前，全球的传感器市场呈现出快速增长的趋势，大约有600家厂商在生产MEMS的开发与研制，成功研制出各种用途的传感器。MEMS技术根据其测量精度可以分为低级、中级、高级传感器。论文网
最近几十年，我国在传感器方面取得了长足的进步，不断减小着与发达国家之间的差距。据不完全统计，我国生产敏感元件及传感器的厂商已经超过1500家，产品种类已经超过6000种。特别是最近6、7年，我国对MEMS惯性传感器有着很高的研发热度。主要集中在国内的高等教育学府。根据调查，包括有：哈尔滨工业大学、浙江大学、东南大学、航天704所、清华大学、南京理工大学、西北工业大学、重庆电子26所。 MEMS技术国内外研究现状综述:http://www.youerw.com/yanjiu/lunwen_26286.html