角度测量工程中，倾角传感器是的重要组成部分。从工作原理上可以分为：固体式、液体式、气体式三种[4]。随着现代科学技术的发展，角度测量仪器也有了更为全面的设计改造。基于MEMS技术的惯性传感器的出现对倾角测量的发展更是提供了 举足轻重的作用。34070
MEMS技术最早在1959年提出设想，1991电容式倾角传感器开始投入使用，现在使用的微型传感器大多数是电容式倾角传感器。之后，论文网欧美国家的一些公司相继开展微以硅作为主要材料的陀螺仪，加速度计等微型惯性仪表的研究[5]。现在基于MEMS技术的传感器体积和功耗减少，精度提高，应用范围也越来越广。基于MEMS技术的倾角传感器研究逐渐成为倾角测量的热点。我国从1980年左右开始MEMS技术的研究，随着大量科研工作的进行，在微型传感器的研究方面取得了很大的进步，在加速度计的的精度和陀螺仪分辨率上都得到了很大提高。
惯性传感器分为线加速度计和角速率陀螺仪两种。惯性传感器的应用领域很广泛，合理的使用这些器件可以使我们的实际工作生活得到很大的收益。但由于倾角测量传感装置受到本身构造和环境因素的影响，在使用过程中难免会产生误差。其中主要的误差可以分为以下几种：自身误差和环境误差[6]。自身误差包括灵敏度误差、正交度误差、零位误差。环境误差是由装置所在位置的环境因素引起的误差，也是传感装置误差的主要来源。 MEMS技术国内外研究现状概述:http://www.youerw.com/yanjiu/lunwen_31449.html