微驱动器作为微机械电子系统的核心部件，一直是微机电系统（MEMS ）的研究热点。但在一般情况下，在微尺寸的世界中，相比惯性力、体积力的影响，粘性力、面积力对流体的影响会更加显著，即随着微驱动器系统的尺寸、流速的减少，将会导致雷诺数减小，受到流体粘性力的影响显著增加[5,6]。而MEMS压电驱动器避免了这个问题。MEMS压电驱动器利用压电材料的逆压电效应，把电能转化成机械能的换能器。与其他驱动形式相比，其具有结构简单、响应速度快、高频适用性强、驱动和处理电路简单等优点，其最突出特点就是可以提供微米、纳米量级的位移或运动。同时，压电驱动具有线性好、控制一方便、位移分辨率高、频率响应好、不发热、无噪声等优点，所以，微压电驱动已成为一种理想的微位移驱动技术，在超声检测、精密位移和定位、声学及力学量的检测等方面已经得到了广泛的应用，具有很大的发展前途。42865

目前MEMS压电驱动器得到了广泛的关注和发展，压电驱动器发展的重要趋势是集成的单元部件越来越多，集成的规模也越来越大，所涉及到的部件包括和进样及样品处理有关的透析、固相萃取、净化等功能部件；以及用于流体控制的微阀（包括主动阀和被动阀）、微泵（包括机械泵和非机械泵）、微混合器、微反应器、微通道和微检测器等。

在国外，1988年Twente大学（荷兰）研制出一种振膜直径只有12.5 mm的压电式微泵结构[7]。在工作频率不高的情况下，当对微泵施加100 V左右驱动电压时，可实现每分钟驱动约10 μL的液体流动；当时间电压升值125 V时，可实现扬程最高为2 m水柱。1989年，日本东京大学研制备出一种尺寸约为20 mm×20 mm×10 mm的压电微泵，微泵靠压电块驱动[8]。在100 V驱动电压的作用下，每分钟最大驱动流量为40 μL，最高可实现扬起高度为1m的水柱。论文网

在国内，2002年上海交通大学陈海菂等人利用梯度功能压电陶瓷的逆压电效应，研制了双悬臂梁结构的微夹钳；其原理是：当加载电压时，压电体伸长而硅基片尺寸不变导致悬臂梁弯曲，使夹钳夹紧[9]。2006年，刘国君等人于利用迭片技术制备一种用于精密输液的压电微泵，其尺寸为45×20×3 mm3，最小分辨量可达7×10-5 mL[10]。2007年，清华大学方华军等人采用MEMS技术，制作了硅基压电悬臂梁式微麦克风[11]。同年，西安电子科技大学娄利飞等人采用MEMS技术，研制了PZT薄膜悬臂梁作为驱动器的500 μm×500 μm微镜结构[12]。2008年，杜立群等人制备一种PZT薄膜无阀压电微泵，其主要由压电圆型致动片与聚二甲基硅氧烷（PDMS）泵膜组成，可实现2.05 μL/min的液体驱动流速[13]。2014年，沈燕虎等人设计了一种基于压电效应为驱动的振动给料器，该种振动给料器在150 V电压、142 Hz频率电信号的驱动下，实现每秒8.5 battery cap的输送速度[14]。

目前，压电驱动器依然受到国内为研究人员的重视，正向着微型化、精确化、集成化发展。