我国的MEMS研究始于1989年中国科学院上海微系统与信息技术研究所、清华大学、北京大学、上海交通大学等几十所高校和研究所于20世纪90年代开始了微机电系统的研究[7]。在国家“八五”、“九五”计划期间，国家自然科学基金委员会、科技部、教育部、中国科学院和总装备部的经费总投入约为 1.5亿人民币。“十五”期间，
MEMS正式列入863计划中的重大专项，加上教育部的教育振兴计划、中国科学院的知识创新体系、基金委和科技部新的立项以及地方和企业的投入，预计总经费可达3亿人民币以上。近年，我国己在微型惯性器件和惯性测量组合、机械量微型传感器和制动器、微流量器件和系统、生物传感器和生物芯片、微型机器人和微操作系统、硅和非硅制造工艺等方面取得一定成果。目前，现有的技术条件己经初步形成MEMS设计、加工、封装和测试的一条龙体系，为我国MEMS技术的进一步发展提供了较好的平台。中国科学院上海微系统与信息技术研究所的微系统工艺平台拥有国内一流的MEMS前道和后道的加工设备、技术和人才，面向国内外客户提供微传感器、微执行器和微系统器件的加工服务；北京大学所属微米纳米加工技术重点实验室分部开发出4种MEMS全套加工工艺和多种先进的单项工艺，己制备出加速度计样品，并己开始为国内研究MEMS的单位提供加工服务 MEMS加速度计的国内外研究现状及发展趋势(2):http://www.youerw.com/yanjiu/lunwen_4720.html