点衍射干涉仪的系统原理是由R.N.Smartt与J.Strong首次提出的，他们在1972年的光学协会杂志上发表了《Point-diffraction interferometer》一文，介绍了点衍射干涉仪的测量原理，该系统不仅具有简单的整体结构，也能达到理想的测量精度 。在随后的研究中，科学工作者为了克服点衍射干涉仪自身的缺点，不断完善其系统结构，并成功加入了移相装置来完成测量工作，从1975年至今，相继诞生了传统型点衍射干涉仪、光栅式点衍射干涉仪、偏振移相式点衍射干涉仪、光纤式点衍射干涉仪等各种类型的点衍射干涉系统。63010

自从点衍射干涉检测方法提出后，各国科学工作者在分析针孔尺寸对衍射波前质量的影响方面，做出了大量研究工作。

1991年，C.J.R.Sheppard等人利用菲涅尔衍射理论，详细阐述了光波在经过半平板衍射后，光场中光扰动随光波入射角度等因素变化的关系，并研究了三维情况下光传播函数的近似表达方法 。

1995年，Gong Qian与Geary Josehp对传统型点衍射干涉仪做了数学建模，着重分析了针孔尺寸对衍射参考波前质量造成的影响 。

1996年，KA.Goldberg等研究了极紫外点衍射干涉仪中的针孔形貌带来的参考波前误差，并对针孔后的衍射场做了三维数值仿真，着重分析了针孔直径与圆度对衍射参考波前造成的误差 。

2004年，K.Otaki等人采用严格的耦合波理论来分析点衍射干涉仪在可见光波段的针孔衍射波前误差 。同年Y.Sekine等人以PDI系统中大数值孔径的入射光作为研究对象，分析计算了其衍射参考波前相对于标准球面波前的偏差情况。

2006年，叶一东、李建民等人研究了针对衍射光强的仿真方法，虽然结论不是针对圆孔衍射的情况，不过文中提到利用变换菲涅尔数的传输方法，在编程中能给圆孔类型的衍射光强计算提供借鉴意义 。

2007年，邓小玖、李怀龙等人以高斯光束为研究对象，讨论了通过针孔后的衍射场情况，分别从标量及矢量衍射理论出发，分析计算了针孔衍射场的级数解以及非傍轴区的近似解，并讨论了标量衍射理论在针孔衍射方面的适用条件 。

2008年，马强、刘伟奇等人指出，在传统型点衍射干涉仪和光纤式点衍射干涉仪中，针孔以及光纤的直径是影响干涉仪测量精度的首要因素，他们针对传统型点衍射干涉仪，通过标量衍射理论计算了不同针孔直径得到的衍射波前与标准球面波前之间存在的偏差 。论文网

2009年，刑廷文，何国良等人研究了193nm移相式点衍射干涉仪中的针孔形貌对衍射参考波前质量的影响，并利用标量衍射理论对不同尺寸针孔进行了衍射光强的数值计算 。同年，卢增雄，金春水等通过矢量衍射理论，在极紫外波段对三维针孔的衍射现象进行了数值仿真，详细讨论了在两种偏振光入射时，不同直径三维针孔给衍射波前质量带来的影响，并指出针孔的直径是影响衍射参考球面波波前质量的首要因素 。

2010年，陈琛，杨甬英等人对点衍射干涉仪中参考波前受针孔因素的影响作了研究，他们利用时域有限差分法，讨论了可见光入射微小针孔后的衍射波面与理想标准波面存在的偏差问题 。

2011年，许嘉俊和刑廷文利用有限元分析法，对可见光通过不同直径二维针孔的近场衍射光强进行分析，并采用瑞利一索末菲理论对远场光强的发散情况进行了数值计算 。同年，卢增雄，金春水等通过瑞利一索末菲理论对不同直径二维针孔的衍射波前在远场的波前质量进行了数值仿真，并分析了装调针孔时造成的方位误差给衍射波前造成的影响 。

可以看到，对点衍射干涉系统中针孔对衍射波前影响的研究方法从标量衍射理论逐渐过渡到严格的矢量衍射理论，期间衍生出以矢量衍射理论为基础的时域有限差分法、有限元分析法和角谱分析法等研究方法，对衍射针孔的建模也是从简单的二维圆孔发展到具体的三维模型，该研究领域的发展趋势是建立在矢量衍射理论基础之上 ，更加细化衍射针孔的自身参数，研究针孔尺寸、基底厚度、膜层厚度和针孔圆度对衍射参考波前质量的影响，并分析不同类型入射光(如理想光波和存在象差的入射光波)通过针孔衍射后在远场的光强情况 ，此外，对矢量衍射理论仿真的算法优化也将是一项很有意义的课题，本文将重点研究针孔尺寸和离焦对衍射场光强造成的影响，通过MATLAB编程得到适用于实际应用的衍射光强数值计算方法。 点衍射干涉仪国内外的研究现状及发展趋势:http://www.youerw.com/yanjiu/lunwen_69382.html