空气悬浮式玻璃基板搬运系统

2  空气吸浮式

空气吸浮式非接触技术是压缩空气经过吸浮机构产生真空并通过吸浮机构与下方平板工件之间的缝隙排出，对下方平板工件产生向上的吸浮力，真空吸浮力与工件的自重达到平衡实现非接触的向上吸浮[13]。产生真空的方式有两种：

伯努利式

伯努利式非接触真空吸盘是根据“伯努利”原理，利用环型喷嘴沿吸盘锥形内壁喷出高速气流使吸盘中心产生负压，对工件产生向上吸力。高速气流从吸盘和工件之间的间隙向外排出，使吸盘与工件在保持间隙的情况下，实现非接触吸取[14]。下图所示为该类吸盘工作原理示意图。

伯努利式非接触真空吸盘气流为放射状，吸力均匀，吸取过程稳定，但存在空气消耗量过大导致吸盘有较大的功率损耗以及随之而来的噪声问题，限制了其优势[15]。 伯努利式非接触真空吸盘原理图

气旋式

图1.8为气旋式非接触吸取的原理示意图：气旋式非接触真空吸盘工作时，高压气体经喷嘴射出后沿切向进入旋回流腔，在腔内作强回旋运动，由于离心力的作用，吸盘中心产生负压，在工件背面大气压力的共同作用下，产生向上吸力，该吸取力与工件重力平衡后使吸盘与工件保持一定间隙的状态下，实现对工件的非接触吸取