在我们的日常生活中，由于生产的需要，和生活空间的要求，一些宏观的机械或者物品必然走向微观，于是这极大得促进了微机械技术的研究。现在的微机械系统的研究主要处在微米级别，这是技术的要求和生产的需要。65588

而微器件中，我们用到的更多的是微传感器和微执行器件，因为需要做更多的转换。在生产生活中，我们不仅涉及到几何学、静力学或者是动力学的转换，还有能量的转化，比如化学能和机械能的转换，器件的工作环境是很小的时候，我们必须考虑微小化机械，微米级别很好，即考虑到了需求，又考虑到了科学技术的限制，性价比很高。最关键的是，微机械的核心部件往往是我们在材料力学里研究的微梁，但是如我们知道的，材料力学是弹性力学的近似处理，所以如果把材料力学照搬到微型的电子的机械的系统中的话，肯定满足不了工程的需要。

微传感器的典型结构为共振传感器、质量传感器，他们二者的基本结构都是微梁，因为它们的结构不复杂和造价不很高，所以得到了很广泛的使用，并且促进引导了科学研究的新的方向。

微传感器的动力学特性得到了许多学者（Fadiman [3] 、Zhang 等人[4]和Kacem等人[5]）的重视，他们并且做了大量相应的研究，不仅研究简单的模态分析，而且研究了很多非线性的动力学特性，以及参数共振等。论文网

如果把平行极板几何上排列组合并且有规律耦合的话就可以得到静电梳齿结构，张文明等人[6]的研究，以及Tang 等人[7]建立的静电梳齿结构的动力学模型得到了许多对实践有指导意义的结论。

对于纵向谐振器的研究也由来已久了，可以用快速斯托克斯数值算法，然后求解三维的斯托克斯方程得到一些很有用的结果。Ye 等人[8]和张峰等人[9]做出了努力，并在实验上走得更远一些。

为了解决先是说和生产中遇到的问题，我们必须首先建立原来系统的物理模型，并且进一步把物理模型转化为数学模型，最后求解数学模型从而得到指导实践的结果。Li 等人[11] 设计建立了电容模型，郭 [10] 证明他们的理论是有效的，是正确的，大大改进了原来的模型，得到了很好的精度要求，对实践有极大的影响，有效解决了实际的数学模型和试验结果相差太大的情况。

在微纳米领域内做研究需要特定的工具，一般的显微镜和直接观察难以满足工程和实验的要求，于是原子力显微镜应运而生，它是由G.Binging 等人[12]发明的。以往的学者在原子力显微镜动力学行为分析方面，做得很简化，因为也许是技术的限制，它们直接线性化振动响应[13-15] 。Lee等人[16]建立了新的模型，他们的分析结果表明原子力显微镜的动力学响应会出现非线性现象，这样朝着实际的物理系统迈进了一步，但是结果还是比较粗糙。

对原子力显微镜中的微悬臂梁的运动过程中出现的各种混沌运动的研究Rutzel 等人[17] 得到了很多有用的结果，而Couturier 等人[18] 和Zhang 等人[19, 20]通过实验观察发现混沌的确实存在和随机的力量，同样Korayem 等人[21]的物理模型和为数学模型的结果也是很有价值的。

综上所述，对于微系统的研究往往归结于关键的元件，而关键元件的组成往往是很简单有效的结构，比如微梁。微梁的研究是很基础和影响深远的，所以本文从最简答的地方开始，利用成熟的理论和数值分析技术研究。如果有机做些试验的话，必定是极好的，单若是理论上得到了对工程实践具有重要指导意义的话那倒也不负大学的恩泽。所以基础的微梁的动力学特性的研究将来一定会继续默默得处于最重要的位置。 静电驱动微梁的动力学研究现状:http://www.youerw.com/yanjiu/lunwen_73271.html