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微电子机械系统国内外研究现状和参考文献(2)

时间:2022-01-02 21:21来源:毕业论文
[17] 薛维清。 引信用微机电惯性接电开关设计[D]。 南京理工大学, 2013。 [18] ANSYS Workbench 14。0超级学习手册[M]。 人民邮电出版社, 2013。 [19] 毛胜平,汪红,等

[17] 薛维清。 引信用微机电惯性接电开关设计[D]。 南京理工大学, 2013。

[18] ANSYS Workbench 14。0超级学习手册[M]。 人民邮电出版社, 2013。

[19] 毛胜平,汪红,等。 UV-LIGA镍薄膜材料的力学性能测试与分析[J]。 功能材料, 2010, 2(41):354-356。

[20] 刘小岗,施坤林,牛兰杰,等。有限元法在MEMS安全系统仿真中的应用[J]。 探测与控制学报, 2006,28(1):14-16。

微电子机械系统国内外研究现状和参考文献(2):http://www.youerw.com/yanjiu/lunwen_87982.html
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